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201. MEMS諧振式加速度計(jì)頻率檢測(cè)電路設(shè)計(jì)
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202. 基于MEMS慣性器件的兩軸穩(wěn)定平臺(tái)研究
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203. 壓電式MEMS面內(nèi)橫向驅(qū)動(dòng)器的研究
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204. 基于IMU旋轉(zhuǎn)的MEMS器件誤差調(diào)制技術(shù)研究
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205. 可調(diào)諧MEMS諧振器關(guān)鍵技術(shù)研究及應(yīng)用
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206. MEMS在片測(cè)試系統(tǒng)電容參數(shù)校準(zhǔn)技術(shù)研究
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207. 基于射頻MEMS開(kāi)關(guān)的多頻可重構(gòu)天線
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208. 足部安裝MEMS-IMU個(gè)人導(dǎo)航系統(tǒng)
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209. 一種新的MEMS陀螺溫度誤差建模與補(bǔ)償方法
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210. 寬帶高增益雙層硅基MEMS微帶天線陣列（英文）
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