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621. 基于捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)的MEMS陀螺儀信號降噪
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622. 基于柔性止動的MEMS慣性開關(guān)沖擊可靠性強化
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623. 引信用MEMS微執(zhí)行器設(shè)計及加工方法的研究
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624. 基于MEMS技術(shù)懸臂梁陣列式脈搏傳感器研究
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625. MEMS扭轉(zhuǎn)諧振器件彎—扭耦合擠壓膜阻尼機理與模型
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626. 基于二維MEMS超聲相控陣的手勢識別關(guān)鍵技術(shù)研究
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627. MEMS矢量水聽器的溫度特性及其補償方法研究
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628. MEMS靜電驅(qū)動器的場致電子發(fā)射效應(yīng)研究
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629. 一種基于MEMS芯片的新型地面大氣電場傳感器
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630. 基于小波分析的MEMS加速度計輸出噪聲消除
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