發(fā)布時(shí)間：2017-10-28 07:39

  本文關(guān)鍵詞：一種基于MEMS芯片的新型地面大氣電場(chǎng)傳感器

  更多相關(guān)文章： 微機(jī)電系統(tǒng) 電場(chǎng)傳感器 MEMS地面大氣電場(chǎng)傳感器

【摘要】：該文基于MEMS電場(chǎng)敏感芯片,研制出了一種新型的地面大氣電場(chǎng)傳感器,解決了現(xiàn)有場(chǎng)磨式電場(chǎng)儀易磨損、功耗大、故障率高等問(wèn)題。敏感芯片采用SOIMUMPS加工工藝制備,其芯片面積僅為5.5 mm×5.5 mm。該文提出了傳感器敏感芯片的弱信號(hào)檢測(cè)方法,設(shè)計(jì)出了滿足環(huán)境適應(yīng)性的傳感器整體結(jié)構(gòu)方案,并建立了傳感器的靈敏度分析模型。對(duì)電場(chǎng)傳感器進(jìn)行測(cè)試,測(cè)量范圍為-50 k V/m~50 k V/m,總不確定度為0.67%,分辨力達(dá)到10 V/m,功耗僅為0.62 W。外場(chǎng)試驗(yàn)結(jié)果表明,MEMS地面大氣電場(chǎng)傳感器在晴天和雷暴天的電場(chǎng)探測(cè)結(jié)果,與Campbell公司場(chǎng)磨式電場(chǎng)儀探測(cè)結(jié)果都有較好的一致性,說(shuō)明該傳感器能滿足預(yù)測(cè)雷暴要求,實(shí)現(xiàn)雷電監(jiān)測(cè)和預(yù)警功能。
【作者單位】： 北京大學(xué)微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所傳感器技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;清華大學(xué)微電子學(xué)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 微機(jī)電系統(tǒng) 電場(chǎng)傳感器 MEMS地面大氣電場(chǎng)傳感器
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61327810,61201078);國(guó)家自然科學(xué)基金重大儀器專項(xiàng)(61302032)~~
【分類號(hào)】：TP212.1
【正文快照】： 2(中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所傳感器技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室北京100190)3(清華大學(xué)微電子學(xué)研究所北京100084)1引言電場(chǎng)監(jiān)測(cè)與雷電預(yù)警在航空航天、氣象、電力、石油化工等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用需求。飛行器在發(fā)射升空過(guò)程中可能遭到自然雷擊或誘發(fā)閃擊,造成其直接損壞或間接損傷。人類

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1107297