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441. MEMS數(shù)字傾角儀的標(biāo)定補償方法研究
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442. 多準(zhǔn)則MEMS陀螺隨機誤差在線建模與實時濾波
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443. MEMS傳感器三維引線鍵合系統(tǒng)研制
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444. MEMS懸浮結(jié)構(gòu)深反應(yīng)離子刻蝕保護方法對比研究
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445. 激光點火系統(tǒng)用MEMS光開關(guān)研究與設(shè)計
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446. MEMS數(shù)字麥克風(fēng)信號處理電路的設(shè)計
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447. 基于MEMS技術(shù)的非接觸式人體靜電測量裝置
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448. 基于MEMS傳感融合技術(shù)的內(nèi)鏡跟蹤定位系統(tǒng)研究
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449. 集成高輻射率納米結(jié)構(gòu)的MEMS紅外光源研究
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450. 電容式MEMS環(huán)形振動陀螺結(jié)構(gòu)設(shè)計及加工
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