本文關(guān)鍵詞：MEMS數(shù)字傾角儀的標(biāo)定補償方法研究

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【摘要】：在介紹MEMS數(shù)字傾角儀組成結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,根據(jù)數(shù)字傾角儀內(nèi)部MEMS加速度計的輸出特性,對MEMS加速度計的敏感單元建立數(shù)學(xué)標(biāo)定模型,提出并推導(dǎo)了一種適用于MEMS數(shù)字傾角儀的標(biāo)定方法;該方法可以得到雙軸MEMS數(shù)字傾角儀中加速度計的零位電壓、標(biāo)度因數(shù)矩陣、安裝誤差系數(shù)等敏感項參數(shù);通過重力場靜態(tài)翻轉(zhuǎn)實驗對實驗室研制的數(shù)字傾角儀進(jìn)行標(biāo)定;最后使用MATLAB擬合計算得到所求標(biāo)定參數(shù),并對測試結(jié)果進(jìn)行了誤差分析和補償對比;實驗結(jié)果表明,該方法能使MEMS數(shù)字傾角儀的測量精度提高到±0.05°,可以滿足高精度的角度測量需求。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)重點實驗室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 傾角儀 MEMS加速度計 系統(tǒng)標(biāo)定 誤差補償
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(51575500)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： MEMS數(shù)字傾角儀內(nèi)部的核心敏感單元主要為MEMS加速度計。當(dāng)加計敏感軸與水平面存在一定角度時,利用其輸出加速度值與重力加速度分量的數(shù)學(xué)關(guān)系,實現(xiàn)對底面與水平面之間夾角的測量。數(shù)字傾角儀具有體積小、精度高、能耗低等優(yōu)點,其在建筑、機械加工、路面狀況監(jiān)測等工程領(lǐng)域中

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本文編號：1013286