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391. MEMS薄膜的斷裂強度測試結(jié)構(gòu)和提取方法研究
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392. 基于UWB/MEMS的高精度室內(nèi)定位技術(shù)研究
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393. 基于MEMS技術(shù)的直流電滲流微泵的研究
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394. 基于MEMS傳感器陣列式運動信息獲取系統(tǒng)的設(shè)計
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395. 硅基MEMS微波帶通濾波器的設(shè)計及制備
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396. 小量程MEMS電容式壓力傳感器設(shè)計與工藝研究
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397. 高功率容量電容式RF MEMS開關(guān)失效機理研究
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398. 基于MEMS技術(shù)的質(zhì)點振速傳感器的研制
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399. 基于MEMS輔助的單基線北斗融合測姿算法
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400. 基于MEMS掃描激光器的光纖光柵解調(diào)儀軟件設(shè)計
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