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381. 基于真空電阻焊的MEMS器件級封裝研究

382. 針對工藝偏差的MEMS器件結構參數優(yōu)化設計

383. 面向MEMS紅外光源的輻射增強結構設計

384. 基于MEMS的電磁激勵諧振傳感器研究

385. MEMS慣導系統(tǒng)的誤差自修正技術研究

386. MEMS可重構帶通濾波器設計

387. 基于MEMS組件的行人導航系統(tǒng)關鍵技術研究

388. 基于電容式MEMS器件的靜電斥力驅動研究

389. MEMS微鏡掃描激光雷達發(fā)射光學系統(tǒng)設計

390. 基于FPGA的MEMS航姿測量系統(tǒng)設計