【摘要】："粘連"失效常見于電容式靜電驅(qū)動MEMS器件,通過建立"粘連"失效模型分析得出靜電引力驅(qū)動機制導致的介質(zhì)充電是其失效的根本原因。為消除介質(zhì)充電問題,提出了一種新型的基于靜電斥力的驅(qū)動機制:通過向固定極板施加電壓,利用驅(qū)動結(jié)構周圍形成的不均勻電場在可動極板垂直方向上產(chǎn)生合力,使可動極板向上彎曲運動。結(jié)合靜電斥力典型驅(qū)動結(jié)構,通過COMSOL Multiphysics仿真分析結(jié)構尺寸、驅(qū)動電壓與極板最大形變量的關系。仿真結(jié)果表明:在靜電斥力結(jié)構中,驅(qū)動電壓與可動極板長度呈線性關系,但與垂直間距呈非線性關系,會出現(xiàn)突降。此外,在結(jié)構尺寸固定的情況下,驅(qū)動電壓與極板最大形變量幾乎呈線性關系,這與靜電引力驅(qū)動中無法通過改變驅(qū)動電壓線性控制形變量不同。

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本文編號：2687059