為您找到約47篇文章，耗時0.0171秒，數(shù)據(jù)庫總量為386,093,562篇。
-
21. 氮氣對PECVD制備氮化硅薄膜結構與性質的影響
-
-
22. 基于VxWorks嵌入式PECVD設備系統(tǒng)的設計與實現(xiàn)
-
-
23. PECVD法生長石墨烯及其鎖模激光脈沖的產(chǎn)生
-
-
24. 基于PECVD薄膜性能對高深寬比TSV工藝的研究
-
-
25. 溫度與氣壓對脈沖PECVD沉積氧化鋁薄膜的影響
-
-
26. 基于PECVD的TSV深孔絕緣層沉積工藝優(yōu)化
-
-
27. 管式PECVD設備反應室結構的優(yōu)化設計與數(shù)值仿真研究
-
-
28. 石墨烯薄膜的RF-PECVD法制備及其特性研究
-
-
29. 不同工藝參數(shù)及噴淋板結構下PECVD熱流場分析
-
-
30. PECVD法制備氫化納米晶硅薄膜及其晶化特性的研究
-
