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131. MEMS慣性器件誤差分析與補償方法研究
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132. MEMS晶圓級測試系統(tǒng)現(xiàn)狀及未來展望
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133. MEMS扭轉(zhuǎn)微鏡溫度效應(yīng)的仿真分析
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134. MEMS溫濕度傳感器集成系統(tǒng)設(shè)計
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135. MEMS微驅(qū)動器的設(shè)計、工藝及應(yīng)用
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136. 高精度石英全息透鏡的MEMS工藝制作
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137. 三軸數(shù)字MEMS加速度計現(xiàn)場標定方法
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138. MEMS射頻同軸線的仿真與工藝研究
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139. MEMS角振動陀螺的結(jié)構(gòu)建模與仿真分析
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140. MEMS慣組抗高g值沖擊設(shè)計方法
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