本文關(guān)鍵詞：MEMS射頻同軸線的仿真與工藝研究

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【摘要】：以SU-8方形柱作為支撐襯底,初步設計中心頻率為38GHz空氣填充的微型矩形同軸線,通過HFSS電磁仿真軟件對設計的結(jié)構(gòu)進行模擬仿真與優(yōu)化,并結(jié)合實際加工工藝和測試條件,最終確定中心同軸的橫截面為200μm×200μm,外壁內(nèi)表面的橫截面為500μm×500μm,對支撐襯底尺寸進行最優(yōu)化模擬仿真,確定SU-8矩形支撐襯底寬度為200μm.采用SU-8紫外光刻工藝并結(jié)合銅的電鍍工藝進行微型同軸線結(jié)構(gòu)的加工.利用微波探針測試臺對其傳輸性能進行測試,測試結(jié)果顯示該微型同軸線在中心頻率處回波損耗S11在-30dB以下,插入損耗S12參數(shù)為-0.3dB.該工藝方法加工的同軸傳輸線具有帶寬大、介質(zhì)損耗小、輻射損耗小和抗干擾強等優(yōu)點,可用于高性能射頻和微波電路.另外,它的制作工藝可與其他射頻和微波器件及集成電路工藝兼容,便于與射頻和微波電路集成.
【作者單位】： 中北大學電子測試技術(shù)重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 同軸傳輸線 光刻 電鍍 SU- RF MEMS
【基金】：國家自然科學基金資助項目(61401405);國家自然科學基金資助項目(51475438) 山西省基礎研究項目(2014011021-4) 新世紀優(yōu)秀人才支持計劃資助項目(130951862)
【分類號】：TN813
【正文快照】： 0引言隨著射頻(RF)、微波技術(shù)的迅速發(fā)展,國際上諸多知名科研機構(gòu)和高校都將RF MEMS視為重點研究方向.RF MEMS技術(shù)中多采用的是平面電路技術(shù),其中的射頻、微波信號傳輸及器件互聯(lián)多采用微帶、共面波導、帶狀線等平面?zhèn)鬏斁�[1],當集成度較高時,這些傳輸、互聯(lián)技術(shù)就暴露出諸多

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2 孫再吉;;MEMS平板顯示應用于手機[J];半導體信息;2008年02期

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6 董光焰;劉中杰;;光學MEMS微鏡技術(shù)及其在激光雷達中的應用[J];中國電子科學研究院學報;2011年01期

7 ;光波網(wǎng)絡中的MEMS[J];光機電信息;2001年09期

8 ;杰爾系統(tǒng)公司──首家批量生產(chǎn)三維MEMS光交換機組件的半導體公司[J];電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗;2002年02期

9 丁松峰;沈驍;;三維MEMS的交換時延分析[J];科技風;2008年06期

10 劉輝;;供應商增多,MEMS麥克風前景看好[J];集成電路應用;2010年02期

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1 于華男;張勇;馬小艷;;制導彈藥用MEMS慣性導航系統(tǒng)發(fā)展與關(guān)鍵技術(shù)綜述[A];微機電慣性技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢——慣性技術(shù)發(fā)展動態(tài)發(fā)展方向研討會文集[C];2011年

2 蔣振新;丁桂甫;楊春生;張永華;;一種新型MEMS共面波導傳輸線的理論研究[A];2003'全國微波毫米波會議論文集[C];2003年

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1 王鵬;基于MEMS矢量水聽器陣列的聲目標定向定位技術(shù)研究[D];中北大學;2013年

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本文編號：895076