發(fā)布時間：2018-01-17 19:18

  本文關(guān)鍵詞：曲面基底衍射光學元件的激光直寫技術(shù)　出處：《中國激光》2017年06期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：飛秒激光直寫技術(shù)(FsLDW)因其優(yōu)異的三維加工能力、高空間分辨率、低附加損傷等優(yōu)點被廣泛地應(yīng)用于微納加工領(lǐng)域,但傳統(tǒng)飛秒激光直寫技術(shù)在加工效率、加工面積和加工精度之間存在矛盾。為了實現(xiàn)高速、大面積、高精度的激光微納加工,構(gòu)建了一種由大范圍水平位移臺和高速旋轉(zhuǎn)臺組成的極坐標系飛秒激光直寫系統(tǒng)。基于該系統(tǒng),研究了軸對稱樣品中心對準方法及曲面曲率校準方法,并在曲面上制備了多階三維結(jié)構(gòu)。最終完成了在透鏡曲面上制備直徑為10mm的衍射圓光柵結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了飛秒激光高速、大尺寸、高精度地制備大面積三維結(jié)構(gòu)。該研究為高性能折衍混合光學元件的制備提供了有力的技術(shù)支持。
[Abstract]:Femtosecond laser direct-writing (FsLDW) has been widely used in the field of micro-nano machining due to its excellent three-dimensional processing ability, high spatial resolution, low additional damage and so on. However, the traditional femtosecond laser direct-writing technology has a contradiction between machining efficiency, machining area and machining precision. In order to achieve high-speed, large-area, high-precision laser micro-nano machining. A femtosecond laser direct-writing system in polar coordinate system composed of a wide range of horizontal displacement table and a high-speed rotating table is constructed. Based on this system, the method of center alignment of axisymmetric samples and the curvature calibration method of curved surface are studied. Finally, the diffraction circular grating structure with a diameter of 10 mm was fabricated on the lens surface, and the femtosecond laser was achieved at high speed and large size. A large area 3D structure is fabricated with high precision. This study provides a powerful technical support for the fabrication of high performance refractive diffractive hybrid optical elements.
【作者單位】： 吉林大學電子科學與工程學院集成光電子學國家重點實驗室;西安交通大學機械工程學院;
【基金】：國家自然科學基金(91423102,91323301,61605055,21473076)
【分類號】：TN249
【正文快照】： 0602002-1衍射光學元件因其體積小、質(zhì)量輕等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用于航空航天、國防軍事、激光技術(shù)等領(lǐng)域[1-4]。目前衍射光學元件的制作方法主要有單點金剛石車削[5]、光刻[6]與激光直寫[7-8]等方法。其中,單點金剛石車削元件相位輪廓易受金剛石刀具形狀的限制;光刻技術(shù)存在無法

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2 晴天;;衍射光學元件綜述[J];激光與光電子學進展;1989年09期

3 楊國楨，顧本源;衍射光學元件的設(shè)計方法[J];物理;1994年04期

4 王潤文，，葉超;衍射光學元件的解析分析方法[J];光學學報;1995年12期

5 楊國楨，顧本源，董碧珍;衍射光學元件的設(shè)計方法[J];量子電子學;1995年01期

6 ;衍射光學元件改善產(chǎn)品的設(shè)計[J];激光與光電子學進展;1996年06期

7 程習敏;白瑜;謝偉民;邢廷文;林嫵媚;;衍射光學元件的加工工藝及其在各種光譜鏡頭中的應(yīng)用[J];光電技術(shù)應(yīng)用;2014年02期

8 周明寶,林大鍵,白臨波;雙光路雙波長相移干涉顯微法測量衍射光學元件形貌[J];光學學報;2000年06期

9 徐俊中,趙逸瓊,王煒,李永平,徐向東,傅紹軍;離子束平動刻蝕工藝衍射光學元件的設(shè)計及制作[J];光學技術(shù);2002年04期

10 李濤,付紹軍,王煒,徐俊中,李永平;一種用于均勻照明的衍射光學元件設(shè)計的混合算法[J];計算物理;2002年01期

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1 楊國楨;顧本源;董碧珍;;衍射光學元件的設(shè)計方法[A];第二屆光學前沿問題學術(shù)討論會論文摘要集[C];1994年

2 白劍;馬韜;沈亦兵;侯西云;;多層衍射光學元件的特性分析[A];2006年全國光電技術(shù)學術(shù)交流會會議文集（B 光學系統(tǒng)設(shè)計與制造技術(shù)專題）[C];2006年

3 董碧珍;劉嶸;;產(chǎn)生單色或多色點/環(huán)衍射圖形的光學元件設(shè)計[A];第三屆全國光學前沿問題討論會論文摘要集[C];1997年

4 張靜娟;司徒國海;;衍射光學元件用于光學圖像加密[A];第六屆全國光學前沿問題研討會論文摘要集[C];2003年

5 王天及;楊世寧;李耀棠;;在液晶空間光調(diào)制器上的可編程費涅耳透鏡[A];第二屆光學前沿問題學術(shù)討論會論文摘要集[C];1994年

6 劉娟;王尚奇;;激光腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)對稱衍射光學元件的設(shè)計[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國光學學會光電技術(shù)專業(yè)委員會成立二十周年暨第十一屆全國光電技術(shù)與系統(tǒng)學術(shù)會議論文集[C];2005年

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