基于磷化銦集成波導(dǎo)光柵的波分復(fù)用和路由器件研究
本文關(guān)鍵詞:基于磷化銦集成波導(dǎo)光柵的波分復(fù)用和路由器件研究 出處:《浙江大學(xué)》2016年博士論文 論文類型:學(xué)位論文
更多相關(guān)文章: 光子集成 波分復(fù)用器 波長(zhǎng)路由器 全光路由器 蝕刻衍射光柵 陣列波導(dǎo)光柵
【摘要】:近幾十年來(lái),網(wǎng)絡(luò)通信容量的激增驅(qū)使磷化銦基的光電子器件得到了飛速的發(fā)展。隨著對(duì)低成本和低功耗等方面要求的持續(xù)提高、光電子芯片制作工藝的逐漸成熟,將多個(gè)光子器件集成于一體的集成光電子芯片將逐漸取代分立光器件,這是光電子行業(yè)發(fā)展的必然趨勢(shì)。在此背景下,本文將深入研究了磷化銦平臺(tái)上的集成波導(dǎo)光柵器件。本文首先研究了磷化銦上基于蝕刻衍射光柵的波分復(fù)用器件,設(shè)計(jì)并制作了8×500GHz合波器,并通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該器件具有損耗小、通道間串?dāng)_低等優(yōu)點(diǎn)。該器件的另一優(yōu)點(diǎn)是尺寸很小,具有與激光器、調(diào)制器等有源器件集成的潛力,可廣泛應(yīng)用于無(wú)源光網(wǎng)絡(luò)、數(shù)據(jù)中心和移動(dòng)網(wǎng)絡(luò)基站。本文研究的另一個(gè)重點(diǎn)是用于全光路由芯片的波長(zhǎng)路由器,提出了基于蝕刻衍射光柵的波長(zhǎng)路由器件,并對(duì)其進(jìn)行了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)研究。對(duì)蝕刻衍射光柵波長(zhǎng)路由器各通道間損耗差異較大的問(wèn)題進(jìn)行了理論分析,指出各通道間損耗的差異是由相對(duì)較大的光柵齒面導(dǎo)致的。為解決這個(gè)問(wèn)題,分別提出了旋轉(zhuǎn)齒面法和弧形齒面法兩種方案,不僅使得器件的通道損耗均勻性得到了明顯提升,還將器件頻譜通帶響應(yīng)改善為頂端平坦,增大了通帶帶寬,兩種方法均在4×4和16×16的蝕刻衍射光柵波長(zhǎng)路由器中得到了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。此外,對(duì)應(yīng)用于單片集成全光路由器的蝕刻衍射光柵波長(zhǎng)路由器做了結(jié)構(gòu)和掩膜設(shè)計(jì),通過(guò)全光路由芯片的測(cè)試結(jié)果,驗(yàn)證了波長(zhǎng)路由器在全光路由芯片中的作用。為充分研究波長(zhǎng)路由器,本文還對(duì)波長(zhǎng)路由器的另一實(shí)現(xiàn)方案——陣列波導(dǎo)光柵波長(zhǎng)路由器進(jìn)行了研究,并給出了4×4和16×16陣列波導(dǎo)光柵波長(zhǎng)路由器的實(shí)驗(yàn)結(jié)果,進(jìn)而通過(guò)改變輸出陣列波導(dǎo)朝向的方法對(duì)該器件進(jìn)行了損耗均勻的設(shè)計(jì);诔浞值睦碚摵蛯(shí)驗(yàn)結(jié)果,我們對(duì)基于蝕刻衍射光柵和陣列波導(dǎo)光柵的波長(zhǎng)路由器各方面進(jìn)行了比較,說(shuō)明了二者適用的范圍。
【學(xué)位授予單位】:浙江大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號(hào)】:TN915.05;TN25
【相似文獻(xiàn)】
中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條
1 張培琨,李育林,劉家英,喬學(xué)光,忽滿利,賈宏志;線性啁啾光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化的定量研究方法[J];光子學(xué)報(bào);1998年06期
2 陳德偉;;采樣光柵設(shè)計(jì)與衍射行為分析[J];激光雜志;2006年03期
3 葉超;謝永軍;付紹軍;何世平;;采用彈性基底制作變間距光柵[J];微細(xì)加工技術(shù);2006年02期
4 葉錫標(biāo);周成剛;張陽(yáng);黃文浩;;基于透反式二維絕對(duì)零位光柵的光刻對(duì)準(zhǔn)技術(shù)[J];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)學(xué)報(bào);2007年03期
5 葉燕;陳林森;;埋入式光柵雙通道特性及其應(yīng)用研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2008年12期
6 沈洪斌;張雛;司賓強(qiáng);;基于狹縫方程的二次扭曲光柵的設(shè)計(jì)與衍射模擬[J];激光雜志;2008年02期
7 方明月;段永遠(yuǎn);諶夏;彭姝慧;蒲利春;;非線性光柵器件[J];重慶工學(xué)院學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2008年03期
8 劉榮祁;陳建榮;林寶卿;莊其仁;;浮雕矩形光柵刻槽深度的衍射測(cè)量方法[J];應(yīng)用激光;2009年03期
9 厲以宇;王媛媛;陳浩;朱德喜;胡川;瞿佳;;基于二維結(jié)構(gòu)薄膜的偏振選擇相位光柵的研究[J];物理學(xué)報(bào);2010年07期
10 王聰;張軍偉;杜麗;周海;;光柵拼接技術(shù)研究進(jìn)展[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2011年08期
中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條
1 劉恒彪;王占山;;納米光柵結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)研制[A];大珩先生九十華誕文集暨中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2004年學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2004年
2 耿康;陳新榮;吳建宏;;用衍射效率的光譜分布判斷多層介質(zhì)膜光柵掩膜形貌[A];大珩先生九十華誕文集暨中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2004年學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2004年
3 白昱;金玉;劉岳峰;馮晶;孫洪波;;光柵微結(jié)構(gòu)提高有機(jī)電致發(fā)光器件光取出效率的研究[A];全國(guó)第15次光纖通信暨第16屆集成光學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2011年
4 李術(shù)新;梁東;邢岐榮;徐世祥;郎利影;田震;柴路;王清月;;零級(jí)深度金屬光柵對(duì)太赫茲波透過(guò)特性的理論研究[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專業(yè)委員會(huì)成立二十周年暨第十一屆全國(guó)光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年
5 曹召良;盧振武;李鳳有;孫強(qiáng);;亞波長(zhǎng)周期結(jié)構(gòu)光柵的制作工藝和理論關(guān)系研究[A];2002年中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)年會(huì)論文集[C];2002年
6 成希革;黃吉發(fā);尹振宇;李雪玲;;內(nèi)置多葉光柵集成[A];第八屆全國(guó)醫(yī)用加速器學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2009年
7 楊德興;王海濱;趙建林;張鵬;郭夏銳;;層狀多重體全息光柵的研究[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2006年學(xué)術(shù)大會(huì)論文摘要集[C];2006年
8 周常河;;低密度光柵的飛秒信息處理技術(shù)[A];2006年全國(guó)強(qiáng)場(chǎng)激光物理會(huì)議論文集[C];2006年
9 閔長(zhǎng)俊;焦小瑾;王沛;明海;;表面有凹槽的亞波長(zhǎng)金屬光柵結(jié)構(gòu)中光的透射現(xiàn)象的研究[A];光子科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化——長(zhǎng)三角光子科技創(chuàng)新論壇暨2006年安徽博士科技論壇論文集[C];2006年
10 賴建軍;梁華鋒;王彬;翟小鋒;;基于金屬/介質(zhì)/金屬光柵的窄帶紅外發(fā)射/吸收結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2010年光學(xué)大會(huì)論文集[C];2010年
中國(guó)重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條
1 通訊員 周曄 記者 李雪林;0.1秒干完10分鐘的活[N];文匯報(bào);2007年
中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條
1 金娃;PCF熱傳導(dǎo)與形變機(jī)理及在熔接和光柵制備中的應(yīng)用研究[D];燕山大學(xué);2015年
2 武華;面向硅基光子集成的光柵器件研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2015年
3 吳麗翔;取樣光柵的刻蝕深度空間分布微調(diào)方法[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2015年
4 李朝陽(yáng);物像光柵自拼接在超短超強(qiáng)激光中的應(yīng)用問(wèn)題研究[D];南京理工大學(xué);2015年
5 廖云飛;大口徑精密光柵拼接系統(tǒng)研究[D];重慶大學(xué);2015年
6 劉麗娟;液晶/聚合物光柵激光器性能的研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2016年
7 王志文;基于金屬納米光柵的集成偏振導(dǎo)航傳感器研究[D];大連理工大學(xué);2016年
8 王瑞;亞波長(zhǎng)微偏振光柵探測(cè)器的研制方法及其偏振特性研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(上海技術(shù)物理研究所);2016年
9 楊帆;基于表面等離子干涉原理的周期減小光刻技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2016年
10 穆鴿;基于磷化銦集成波導(dǎo)光柵的波分復(fù)用和路由器件研究[D];浙江大學(xué);2016年
中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條
1 孫楠凌;基于納米金屬光柵的電浸潤(rùn)顯示技術(shù)研究[D];上海交通大學(xué);2015年
2 王亞如;一維亞波長(zhǎng)介質(zhì)與金屬光柵的模態(tài)、光譜與近場(chǎng)分布及其應(yīng)用[D];江蘇大學(xué);2016年
3 張慧;基于亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu)的原子分子表面光囚禁的理論研究[D];華東師范大學(xué);2016年
4 黃炎龍;微尺度光柵的激光制備方法研究及應(yīng)用[D];江蘇大學(xué);2016年
5 張磊;低損耗一維銀納米光柵結(jié)構(gòu)的光學(xué)性質(zhì)研究[D];南京大學(xué);2016年
6 任霄鈺;光柵共振耦合中的共振特征與譜對(duì)稱性研究[D];重慶師范大學(xué);2016年
7 柳秋風(fēng);分布反饋光柵對(duì)聚合物薄膜受激輻射的調(diào)節(jié)和爆炸物探測(cè)[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2016年
8 張燦;X射線光柵相位襯度成像實(shí)驗(yàn)方法及光柵相關(guān)研究[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2016年
9 趙曉博;分布式布拉格反射鏡與光柵的相互耦合[D];北京理工大學(xué);2016年
10 馮繁榮;基于衍射光初相位測(cè)量的光柵曝光拼接誤差檢測(cè)研究[D];蘇州大學(xué);2016年
,本文編號(hào):1319424
本文鏈接:http://www.sikaile.net/shoufeilunwen/xxkjbs/1319424.html