微細(xì)電解加工技術(shù)是金屬工件在電解液中發(fā)生陽極溶解的一種加工過程,在加工過程中陽極金屬材料以離子的形式被去除,無切削力和表面內(nèi)應(yīng)力,使得加工出的工件表面質(zhì)量好,加工精度高。在對(duì)難加工材料以及復(fù)雜形狀零件的加工上,有著十分廣闊的發(fā)展前景,在微納制造領(lǐng)域具有重要意義。本文提出一種基于正弦信號(hào)的電化學(xué)微細(xì)加工技術(shù)。將傳統(tǒng)的脈沖信號(hào)換成更容易獲取的正弦信號(hào),建立了該種加工系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型,分析了此方法的加工機(jī)理,并利用該技術(shù)進(jìn)行了微孔以及二維微結(jié)構(gòu)的微細(xì)電解加工實(shí)驗(yàn),加工精度達(dá)到了1μm,證明了該方法的可行性并分析了影響電解加工精度的工藝參數(shù)。研究了基于正弦信號(hào)和可變電阻復(fù)合影響的電化學(xué)微細(xì)加工技術(shù)。在加工電路中引入可變電阻,建立了該種加工系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型,分析了加工精度隨正弦信號(hào)頻率以及可變電阻值的變化規(guī)律,改變了加工電路中的加工電壓以及時(shí)間常數(shù),使電解加工處于暫態(tài)加工狀態(tài)。通過微細(xì)電解加工實(shí)驗(yàn)將加工精度提高到了450nm,驗(yàn)證了該方法獲得高加工精度的可行性。研究了基于復(fù)合正弦信號(hào)和可變電阻共同影響的電化學(xué)微細(xì)加工技術(shù)。并建立了該種加工系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型,分析了加工精度隨正弦信號(hào)頻率以及倍頻系數(shù)的變化... 

【文章來源】：燕山大學(xué)河北省

【文章頁數(shù)】：86 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

超短脈沖微細(xì)

a) 雙凸臺(tái)微結(jié)構(gòu) b) 微螺旋結(jié)構(gòu) 圖 1-1 超短脈沖微細(xì)電解加工的微結(jié)構(gòu) 加拿大學(xué)者 Ehsan Azarsa、Lorenzo Cinco 等人研究了高縱橫比獨(dú)立式結(jié)構(gòu)的磨料水射流微加工，如圖 1-2 所示。使用微噴嘴加工出了各種偏移量的相鄰直通道，從而在它們之間保留獨(dú)立式結(jié)構(gòu)。研究了噴嘴橫移速度，通過次數(shù)，噴水壓力，通道偏移和磨料質(zhì)量流速的變化對(duì)所得獨(dú)立結(jié)構(gòu)質(zhì)量的影響[34]。當(dāng)工藝條件使得材料去除率很高，即低移動(dòng)速度，高壓，高磨料質(zhì)量流速時(shí)，可以預(yù)期出現(xiàn)較少的流平，并具有制造速度更快的附加優(yōu)點(diǎn)。因此，盡管較低的移動(dòng)速度導(dǎo)致結(jié)構(gòu)之間的通道更寬，但是產(chǎn)生更深通道的益處而遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了該缺點(diǎn)。

該項(xiàng)研究不僅獲得了光滑的表面，而且還減小了跡線尺寸，提高了機(jī)械穩(wěn)定性。 a) 在 PCB 基板上 3μm 的走線 b) 寬度為 25μm 的跡線


本文編號(hào)：3473282