金屬微納結(jié)構(gòu)當(dāng)前已在光子學(xué)、電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等很多重要學(xué)科領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。目前大多數(shù)微納加工技術(shù)制備的金屬微納結(jié)構(gòu)通常是直接附著在使用的基底表面。對(duì)于一些電介質(zhì)基底如玻璃、晶體等,由于上述沉積的金屬和電介質(zhì)的本征結(jié)合力較弱,很大程度上會(huì)影響到制備器件長(zhǎng)期工作的穩(wěn)定性和可靠性。而通過(guò)在基底表面制備溝槽并結(jié)合后續(xù)的選擇性金屬沉積方法制備出嵌入式金屬微納結(jié)構(gòu)是一種提高金屬-電介質(zhì)基底結(jié)合力的途徑。譬如,利用飛秒激光微加工并與化學(xué)金屬鍍結(jié)合可實(shí)現(xiàn)絕緣體表面嵌入式金屬微結(jié)構(gòu)的制備。但需指出的是,電介質(zhì)表面嵌入式亞微米線(xiàn)金屬結(jié)構(gòu)和面向電光集成的嵌入式豎直側(cè)壁微電極的制備目前還沒(méi)有報(bào)道。針對(duì)上述問(wèn)題,本論文利用飛秒激光微納加工技術(shù)并結(jié)合新型的化學(xué)鍍技術(shù)開(kāi)展了嵌入式金屬微納結(jié)構(gòu)的制備研究。論文主要取得了以下研究成果:(1)提出了一種利用飛秒激光燒蝕的閾值效應(yīng)和連續(xù)流化學(xué)鍍相結(jié)合在石英玻璃表面制備嵌入式亞微米金屬線(xiàn)的技術(shù)。首先通過(guò)飛秒激光直寫(xiě)在玻璃表面利用閾值效應(yīng)燒蝕出亞微米線(xiàn)寬的凹槽,然后用連續(xù)流化學(xué)鍍?cè)跇悠繁砻娉练e金屬薄膜,再經(jīng)過(guò)熱處理和機(jī)械拋光,可實(shí)現(xiàn)玻璃表面嵌入式高電導(dǎo)率亞微米金屬結(jié)構(gòu)(最小線(xiàn)寬...

【文章頁(yè)數(shù)】：77 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１?（ａ）基于多光子吸收的突破衍射極限加工示意圖；??（ｂ）透明材料通過(guò)雙?

?＾??Ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ?ｆｏｒ?ｒｅａｃｔｉｏｎ??？邑?〇＿５?Ｂｅａｍｗｉｄｔｈ、＾??＾?Ｔｗｏ－ｐｈｏｔｏｎ?ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ??－?；ｆ??？??Ｔｈｒｅｅ－ｐｈｏｔｏｎ?ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ??Ａｃｔｕａｌ?ｂｅａｍ?ｐｒｏｆｉｌｅ??？?？．．．．．．．Ｘ％....

圖３飛秒激光燒蝕切割ＳＥＭ圖像Ｍ??

?華東師范大學(xué)碩士學(xué)位論文???—，顧??■ａａｒｏｒｉｉｎ—ＫｔｉｉＥｇ—??圖２不同參數(shù)激光脈沖的燒蝕孔ＳＥＭ圖像％??（ａ）脈沖寬度：２００?ｆｓ，脈沖能量：１２０?ｍｊ，能量密度：０．５?Ｊｅｍ＇波長(zhǎng)：７８０?ｍｎ；??（ｂ）脈沖寬度：３．３?ｎｓ，脈沖能量：ｌｍＪ，能量....

圖２不同參數(shù)激光脈沖的燒蝕孔ＳＥＭ圖像％??

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圖４直接墨水書(shū)寫(xiě)［５１］??

?華東師范大學(xué)碩士學(xué)位論文???闕＿爹國(guó)｜｜??，ｎ?Ｉ?—?、—??圖４直接墨水書(shū)寫(xiě)［５１］??（ａ）原理示意圖：從玻璃微量移液器中擠出銀納米顆粒墨水；（ｂ）顆粒濃度對(duì)油墨的粘彈性和剪切稀化??性能的影響；（ｃ）使用逐層打印制備的３Ｄ銀結(jié)構(gòu)的ＳＥＭ圖像；（ｄ）實(shí)際的制備過(guò)程；（....

本文編號(hào)：4020288