本文選題：微波等離子體 + 化學氣相沉積(CVD)　； 參考：《人工晶體學報》2017年10期

【摘要】：本文介紹了制備單晶金剛石的主要方法并對其進行了對比,從籽晶選擇、預處理和生長工藝幾個方面綜述了微波等離子體化學氣相沉積法制備金剛石單晶的研究進展,并簡單介紹了目前國內(nèi)外在單晶金剛石制備上的進展,最后對CVD金剛石單晶在電子領域的應用進行了展望。
[Abstract]:In this paper, the main methods of preparing single crystal diamond are introduced and compared. The research progress of preparing diamond single crystal by microwave plasma chemical vapor deposition is reviewed from the aspects of seed selection, pretreatment and growth process. The progress in the preparation of single crystal diamond at home and abroad is briefly introduced. Finally, the application of CVD diamond single crystal in electronic field is prospected.
【作者單位】： 河北省激光研究所;河北普萊斯曼金剛石科技有限公司;
【分類號】：TQ163

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本文編號：2004606