【摘要】：晶圓訂單的交貨期預(yù)測(cè)對(duì)于保證訂單交付的準(zhǔn)時(shí)性和平順性,具有重要的意義。然而,晶圓制造中的在制品數(shù)量多、生產(chǎn)周期長(zhǎng)的特點(diǎn)加劇了交貨期預(yù)測(cè)的復(fù)雜性�；诤Ａ烤A制造數(shù)據(jù),設(shè)計(jì)回歸模型來(lái)對(duì)1669個(gè)晶圓加工過(guò)程參數(shù)與訂單交貨期指標(biāo)之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系進(jìn)行分析,并采用費(fèi)舍爾Z變換篩選得到強(qiáng)相關(guān)變量,對(duì)所得到的強(qiáng)相關(guān)變量采用案例推理方法實(shí)現(xiàn)了晶圓制造訂單交貨期的精準(zhǔn)預(yù)測(cè)。
[Abstract]:The prediction of the delivery time of wafer orders is of great significance to ensure the punctuality and smoothness of order delivery. However, the large number of WIP in wafer manufacturing and the long production cycle increase the complexity of delivery date prediction. Based on the mass wafer manufacturing data, a regression model is designed to analyze the correlation between 1669 wafer machining process parameters and order delivery date, and strong correlation variables are obtained by Fisher Z transform. The Case-based reasoning (CBR) method is used to predict the delivery time of wafer manufacturing orders.
【作者單位】： 上海交通大學(xué);
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助重點(diǎn)項(xiàng)目(51435009)
【分類(lèi)號(hào)】：F274;F407.6;TP311.13

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本文編號(hào)：2148562