發(fā)布時間：2021-10-10 07:29

　　微小球體是微光學(xué)、微機(jī)械等領(lǐng)域中最常見的元器件形態(tài)之一,其表面微觀形貌對于其多方面應(yīng)用特性有著重要的影響。例如,直徑介于幾百微米至幾毫米的微球型靶丸是慣性約束聚變（Inertial Confinement Fusion,ICF）實驗的核心部件之一。靶丸表面任何微小缺陷都有可能引發(fā)不對稱壓縮,導(dǎo)致實驗效率降低,甚至打靶失敗的嚴(yán)重后果。傳統(tǒng)的球面檢測手段,如用輪廓儀、圓度儀、原子力顯微鏡進(jìn)行檢測,存在著檢測效率低、容易劃傷工件表面、孤立缺陷容易遺漏等問題。光學(xué)干涉測量法具有非接觸、采樣密度高、效率高、精度高等優(yōu)點,是較為理想的表面形貌檢測方法。但目前僅有美國和法國的相關(guān)科研機(jī)構(gòu)開展了靶丸表面形貌光學(xué)方法檢測的研究工作,分別采用移相衍射干涉和數(shù)字全息顯微的技術(shù)路線,實現(xiàn)了靶丸全表面的無遺漏檢測。而我國目前仍沿用著原子力顯微鏡旋轉(zhuǎn)掃描的傳統(tǒng)檢測方法。本文主要針對基于移相衍射干涉測量原理的靶丸全表面形貌檢測方法及關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行研究,主要研究內(nèi)容如下:針對移相衍射干涉測量方法進(jìn)行研究,并對光機(jī)結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計,提出了基于偏振控制的移相衍射干涉靶丸全表面形貌檢測方法。通過對光的傳輸過程以及干涉光路中各類光... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：133 頁

【學(xué)位級別】：博士

【部分圖文】：

典型輪廓儀測量裝置

J光切顯微鏡Fig.1-2Model9Jlight-sectionmicroscope

為 Zygo 公司的干涉儀產(chǎn)品，其中(a)為采用立式結(jié)構(gòu)的 GPI 系列測量穩(wěn)定性；(b)為采用臥式結(jié)構(gòu)的 Verifire 系列干涉儀，相對于差，但靈活度較高。圖 1-3 典型機(jī)械式移相干涉測量系統(tǒng)Fig.1-3 Classic interferometry system with mechanical phase shifting


本文編號：3427929