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921. 用于MEMS氣體傳感器的檢測芯片設(shè)計與實現(xiàn)
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922. 基于微電鑄工藝的低應(yīng)力MEMS安保機構(gòu)制作
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923. 一種MEMS加速度計的動力學(xué)特性測試研究
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924. 基于多MEMS慣性傳感器的步態(tài)分析與研究
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925. MEMS甲烷傳感器特性表征系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn)
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926. 基于SysML的MEMS產(chǎn)品概念設(shè)計方法研究
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927. 基于MEMS微鏡掃描的三維激光雷達樣機系統(tǒng)設(shè)計
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928. 基于微觀尺寸穿孔結(jié)構(gòu)的MEMS器件下拉現(xiàn)象的研究
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929. 一種MEMS加速度計的噪聲處理與參數(shù)訓(xùn)練方法
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930. 基于氮化鋁薄膜的新型MEMS振動傳感器
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