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881. 嵌套環(huán)式MEMS陀螺剛度軸偏角誤差和電極未對準誤差辨識
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882. 一種面向MEMS矢量水聽器的硅納米線制備方法
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883. 基于“Top-Down”的MEMS集成設(shè)計方法及關(guān)鍵技術(shù)研究
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884. 利用相移顯微干涉術(shù)和頻閃成像技術(shù)研究MEMS離面運動
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885. 基于RF MEMS開關(guān)的4位分布式移相器的設(shè)計
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886. 基于MEMS微鏡的長波近紅外光譜儀的設(shè)計與實現(xiàn)
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887. 基于MEMS線陣的便攜式中紅外水中油濃度速測儀
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888. 基于MEMS陀螺儀和加速度計的機器人定位系統(tǒng)研究
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889. 混合式MEMS超級電容器的動力學(xué)建模與仿真方法
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890. 基于LIGA-like工藝的柔性MEMS微電極加工技術(shù)研究
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