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841. MEMS系統(tǒng)中微平板結(jié)構(gòu)聲振耦合性能研究

842. 基于MEMS陀螺儀隨機漂移誤差補償?shù)难芯?

843. 沖擊環(huán)境下MEMS器件的彈性限位塊設計（英文）

844. 基于MEMS傳感技術(shù)的航姿系統(tǒng)算法研究

845. 基于MEMS慣性器件的油井測斜技術(shù)研究

846. 基于Zigbee和MEMS的物聯(lián)網(wǎng)綜合實驗研究

847. 基于MEMS IMU的車載組合導航技術(shù)研究

848. 內(nèi)腔亞波長光柵MEMS VCSELs的波長調(diào)諧范圍

849. 基于超材料的MEMS微帶天線小型化設計

850. MEMS器件在藥物釋放中的應用與展望