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71. MEMS器件分層失效的強(qiáng)化試驗(yàn)技術(shù)研究
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72. 差分型MEMS矢量水聽器的研制
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73. MEMS加速度計(jì)開環(huán)檢測電路的設(shè)計(jì)
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74. MEMS微摩擦磨損儀器的研究進(jìn)展
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75. 基于MEMS慣性器件的個(gè)人導(dǎo)航系統(tǒng)研究
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76. 差分式MEMS面內(nèi)加速度計(jì)設(shè)計(jì)
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77. MEMS傳感器發(fā)展現(xiàn)狀與應(yīng)用
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78. 基于MEMS重力檢測的數(shù)字水平儀
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79. MEMS加速度計(jì)可靠性評價(jià)技術(shù)
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80. MEMS固體微推力器陣列發(fā)展研究
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