本文關(guān)鍵詞：MEMS傳感器發(fā)展現(xiàn)狀與應(yīng)用　出處：《中國(guó)高新技術(shù)企業(yè)》2016年35期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：MEMS傳感器是隨著納米技術(shù)的發(fā)展而興起的新型傳感器,具有很多新的特性,相對(duì)傳統(tǒng)傳感器其具有更大的優(yōu)勢(shì)。在追求微型化的當(dāng)代,其具有良好的發(fā)展前景,必將受到各個(gè)國(guó)家越來越多的重視。文章首先介紹了MEMS傳感器的分類和典型應(yīng)用,然后著重對(duì)幾個(gè)傳感器進(jìn)行了介紹,最后對(duì)MEMS傳感器的發(fā)展趨勢(shì)與發(fā)展前景進(jìn)行了分析。
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院;
【分類號(hào)】：TP212
【正文快照】： 1　背景汽車應(yīng)用的宿命。廣義上講,MEMS是指可批量制作的,集微機(jī)構(gòu)、微2　目前已有的MEMS傳感器傳感器、微執(zhí)行器以及信號(hào)處理及控制電路,乃至通信2.1　MEMS加速度計(jì)和電源于一體的微型器件或機(jī)電系統(tǒng)。MEMS加速度計(jì),顧名思義,即是用來測(cè)量物體加速1.1　MEMS技術(shù)的發(fā)展度的儀

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本文編號(hào)：1328899