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711. 基于
MEMS
技術(shù)的高密度視網(wǎng)膜假體柔性微電極陣列的研制
712. 基于反鐵電薄膜的雙穩(wěn)態(tài)
MEMS
面內(nèi)驅(qū)動器集成技術(shù)研究
713. 基于
MEMS
工藝的高場非對稱性波形離子遷移譜儀的研究
714. 基于
MEMS
電容加速度計的聲矢量傳感器小型化設(shè)計
715. 基于
MEMS
的陣列式掃描探針顯微鏡測頭理論與技術(shù)研究
716. 基于
MEMS
傳感器的啞鈴動作識別與能耗計算系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn)
717. 基于
MEMS
技術(shù)的仿生三軸向壓阻矢量水聽器的研制
718. 超聲鍵合振動與層間熱應(yīng)力對
MEMS
器件影響的研究
719. 基于BLF技術(shù)的輸出調(diào)節(jié)及其在
MEMS
扭轉(zhuǎn)微鏡中的應(yīng)用
720. 面向
MEMS
真空封裝的3D納米支架基吸氣劑的制備和性能研究
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