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61. 太赫茲體硅MEMS多層波紋喇叭天線

62. MEMS電熱驅(qū)動器的設(shè)計與分析

63. 真空封裝MEMS陀螺高溫老化失效機理研究

64. 基于MEMS技術(shù)的三維無線運動控制研究

65. MEMS器件工藝特性及其性能測試的研究

66. 基于MEMS微型發(fā)動機的裝藥選擇

67. MEMS涂層接觸問題的有限元分析

68. 基于自適應(yīng)濾波的MEMS姿態(tài)確定方法

69. MEMS陀螺旋轉(zhuǎn)導(dǎo)航誤差的分析與仿真

70. W波段MEMS腔體濾波器