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61. RF MEMS器件及其集成技術(shù)研究

62. 子彈引信MEMS安全系統(tǒng)設(shè)計與仿真

63. 基于陣列技術(shù)的MEMS虛擬陀螺技術(shù)研究

64. 太赫茲體硅MEMS多層波紋喇叭天線

65. MEMS電熱驅(qū)動器的設(shè)計與分析

66. 真空封裝MEMS陀螺高溫老化失效機理研究

67. 基于MEMS技術(shù)的三維無線運動控制研究

68. MEMS器件工藝特性及其性能測試的研究

69. 基于MEMS微型發(fā)動機的裝藥選擇

70. MEMS涂層接觸問題的有限元分析