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671. 硅腔體MEMS環(huán)行器的設(shè)計(jì)與制作
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672. MEMS紅外光源光譜特性及溫度特性測(cè)試研究
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673. 一種MEMS陀螺儀溫度漂移誤差補(bǔ)償方法
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674. 基于MEMS傳感器室內(nèi)導(dǎo)航的系統(tǒng)設(shè)計(jì)
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675. 基于真空電阻焊的MEMS器件級(jí)封裝研究
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676. 針對(duì)工藝偏差的MEMS器件結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化設(shè)計(jì)
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677. 面向MEMS紅外光源的輻射增強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
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678. 基于MEMS的電磁激勵(lì)諧振傳感器研究
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679. MEMS慣導(dǎo)系統(tǒng)的誤差自修正技術(shù)研究
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680. MEMS可重構(gòu)帶通濾波器設(shè)計(jì)
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