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521. 新型
MEMS
壓電諧振器若干問題的仿真與研究
522. 一種低成本自適應的
MEMS
陀螺溫度補償方法
523. 三軸
MEMS
陀螺井下尋北的旋轉在線校準研究
524. 基于
MEMS
技術的載體催化甲烷檢測元件制作方法
525. 基于亞像素定位匹配算法的
MEMS
面內運動測量
526. 基于
MEMS
開關的方向圖可重構天線實驗研究
527.
MEMS
三軸加速度計6位置標定方法的研究
528. 基于
MEMS
微屏蔽傳輸線的移相器研究
529. 高精度
MEMS
加速度計中歐姆接觸工藝研究
530. 串聯(lián)電容對
MEMS
扭轉微鏡吸合角的影響
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