本文關(guān)鍵詞：基于MEMS技術(shù)的載體催化甲烷檢測(cè)元件制作方法

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【摘要】：在分析載體催化甲烷檢測(cè)原理的基礎(chǔ)上,提出采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical System,MEMS)技術(shù)對(duì)傳統(tǒng)載體催化甲烷檢測(cè)元件的制作方法進(jìn)行改進(jìn),給出了具體的元件制作流程,并對(duì)元件的性能進(jìn)行了測(cè)試。測(cè)試結(jié)果表明,基于MEMS技術(shù)的載體催化甲烷檢測(cè)元件較傳統(tǒng)載體催化甲烷檢測(cè)元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明顯改善。
【作者單位】： 中煤科工集團(tuán)重慶研究院有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 甲烷檢測(cè) 載體催化檢測(cè) 微機(jī)電系統(tǒng) MEMS
【基金】：重慶市煤監(jiān)局煤炭發(fā)展專項(xiàng)資金資助項(xiàng)目(渝煤〔2014〕-kj-09) 中國(guó)煤炭科工集團(tuán)有限公司科技創(chuàng)新基金面上項(xiàng)目(2014MS025)
【分類號(hào)】：TD712.55
【正文快照】： 0引言中國(guó)煤礦安全形勢(shì)一直較為嚴(yán)峻,尤其是瓦斯災(zāi)害,破壞力極大,僅2014年就有超過200人在瓦斯爆炸事故中喪生,瓦斯災(zāi)害監(jiān)測(cè)裝備的技術(shù)性能仍有待提高。甲烷氣體濃度是瓦斯災(zāi)害監(jiān)測(cè)的主要參數(shù)。目前中國(guó)煤礦井下普遍使用基于載體催化原理的甲烷檢測(cè)裝備,其技術(shù)成熟、成本低廉

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：664232