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511. 基于MEMS的四旋翼飛行器通信與導航技術研究
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512. 鈮摻雜鋯鈦酸鉛薄膜驅動的壓電MEMS懸臂梁研究
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513. 寬響應范圍的MEMS熱電偶真空度傳感器
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514. 基于ZnO壓電薄膜的柔性MEMS超聲波換能器
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515. 石英MEMS傳感器芯片與盒蓋封裝的熱應力分析
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516. 一種新的硅MEMS陀螺儀四相位閉環(huán)集成驅動電路
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517. 大量程閉環(huán)MEMS加速度計非線性分析與優(yōu)化法
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518. 基于支持度和自適應加權的MEMS陀螺信息融合算法
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519. MEMS振蕩器的溫度補償和低噪聲頻率合成特性
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520. 電磁式MEMS扭轉微鏡的建模與閉環(huán)控制研究
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