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461. 低功耗MEMS熱式風(fēng)速風(fēng)向傳感器的研究
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462. MEMS系統(tǒng)中微平板結(jié)構(gòu)聲振耦合性能研究
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463. 基于MEMS陀螺儀隨機漂移誤差補償?shù)难芯?
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464. 沖擊環(huán)境下MEMS器件的彈性限位塊設(shè)計（英文）
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465. 基于MEMS傳感技術(shù)的航姿系統(tǒng)算法研究
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466. 基于MEMS慣性器件的油井測斜技術(shù)研究
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467. 基于Zigbee和MEMS的物聯(lián)網(wǎng)綜合實驗研究
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468. 基于MEMS IMU的車載組合導(dǎo)航技術(shù)研究
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469. 內(nèi)腔亞波長光柵MEMS VCSELs的波長調(diào)諧范圍
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470. 基于超材料的MEMS微帶天線小型化設(shè)計
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