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241. MEMS微橋結構設計與光刻工藝參數優(yōu)化

242. 基于MEMS數字麥克風陣列的聲源定位系統(tǒng)

243. 基于正交誤差對準的MEMS陀螺測控電路設計

244. 基于MEMS技術的集成LED微陣列器件研究

245. MEMS溫度傳感器中ICP刻蝕技術研究

246. 盤結構電容式MEMS諧振器相關性能研究

247. 基于MEMS加速度傳感器的步態(tài)識別

248. 低功耗MEMS熱式風速風向傳感器的研究

249. MEMS系統(tǒng)中微平板結構聲振耦合性能研究

250. 基于MEMS陀螺儀隨機漂移誤差補償的研究