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141. 改進遺傳算法在CMP終點檢測的應(yīng)用

142. 光學(xué)石英玻璃CMP拋光液的研究

143. 氮化鎵晶片的CMP技術(shù)現(xiàn)狀與趨勢

144. 硅襯底CMP過程中拋光霧的控制

145. CMP中TEOS去除速率的一致性

146. CMP架構(gòu)下的共享Cache動態(tài)劃分

147. 相變存儲單元熱模擬及其CMP關(guān)鍵技術(shù)研究

148. CMP拋光硬質(zhì)合金刀片的切削性能試驗研究

149. 對比不同特性藍寶石拋光液的CMP性能

150. HfO_x鑲嵌結(jié)構(gòu)的CMP及其機理研究