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101. MEMS振蕩器的頻率穩(wěn)定技術(shù)研究

102. 太赫茲倍頻及MEMS濾波技術(shù)研究

103. 基于MEMS技術(shù)的納米孔研究及其應用

104. MEMS陀螺中16位數(shù)模轉(zhuǎn)換器設(shè)計

105. MEMS垂直探針的設(shè)計和加工技術(shù)研究

106. MEMS慣性/地磁組合測姿技術(shù)研究

107. MEMS慣性測量單元測試標定方法研究

108. 室內(nèi)BLE/MEMS跨樓層融合定位算法

109. 反鐵電式MEMS薄膜驅(qū)動器研究

110. 一種集成數(shù)字化MEMS組件設(shè)計