諸多研究表明,濕敏傳感器的性能表現(xiàn)一方面和傳感器材料的結(jié)構(gòu)有關(guān),另一方面和敏感材料本身的濕敏特性有關(guān)。具有較大比表面積的傳感器一般具有較大的濕敏響應(yīng)度,所以人們越來越多的制作或采用比表面積較大的材料作為載體,用來復(fù)合(裝載/摻雜)具有較好濕敏性能的敏感材料來制作高性能濕敏傳感器,或者直接用濕敏性能較好的材料制作比表面積較大的濕敏傳感器。硅納米孔柱陣列(Si-NPA),由微米級的多孔硅柱陣列和支撐硅柱的多孔層組成,具有多層次的微觀結(jié)構(gòu),所以具有較大比表面積。由硅柱和多孔層構(gòu)成的溝道網(wǎng)絡(luò)有助于水分子輸運(yùn),已經(jīng)被證明比較適合作為濕敏傳感器,或者濕敏傳感器的基底。作為Ⅱ-Ⅵ族成員之一的氧化鋅(ZnO)納米材料,性能穩(wěn)定,且具備眾多的微觀形貌,可以用來構(gòu)造形貌豐富且具有較大比表面積的濕敏傳感器。硫化鎘(CdS)也是Ⅱ-Ⅵ族成員之一,具有較強(qiáng)的親水性能,有研究表明是一種較有前景的濕敏材料。為了能夠得到具有較大響應(yīng)度和較好響應(yīng)恢復(fù)性能的濕敏傳感器,本文選擇用Si-NPA作為基底,以兩種Ⅱ-Ⅵ族半導(dǎo)體材料作為濕敏材料,用ZnO納米材料來增加比表面積,同時作為濕敏材料,然后在ZnO納米材料表面生長CdS納...

【文章頁數(shù)】：110 頁

【學(xué)位級別】：博士

【部分圖文】：

圖１．３?ＺｎＯ的納米螺旋槳陣列ＳＥＭ圖［６７］．??

?總體來講，納米ＺｎＯ是一種易于制備的半導(dǎo)體材料，它也是具有形貌和特??性最多［４４］的納米村料之一（圖１．２，?１．３，?１．４），可以作為眾多材料生長的模板或??者基底，或者與其他材料進(jìn)行復(fù)合進(jìn)而得到一些更奇特的性能。??龜??圖１．２?ＺｎＯ的一些具有代表性的表面形貌［６６....

圖１．２?ＺｎＯ的一些具有代表性的表面形貌［６６］．??

?總體來講，納米ＺｎＯ是一種易于制備的半導(dǎo)體材料，它也是具有形貌和特??性最多［４４］的納米村料之一（圖１．２，?１．３，?１．４），可以作為眾多材料生長的模板或??者基底，或者與其他材料進(jìn)行復(fù)合進(jìn)而得到一些更奇特的性能。??龜??圖１．２?ＺｎＯ的一些具有代表性的表面形貌［６６....

圖１．４?ＺｎＯ納米材料的各種形貌［５３’５８］．??

?總體來講，納米ＺｎＯ是一種易于制備的半導(dǎo)體材料，它也是具有形貌和特??性最多［４４］的納米村料之一（圖１．２，?１．３，?１．４），可以作為眾多材料生長的模板或??者基底，或者與其他材料進(jìn)行復(fù)合進(jìn)而得到一些更奇特的性能。??龜??圖１．２?ＺｎＯ的一些具有代表性的表面形貌［６６....

圖１．５?Ｓｉ－ＮＰＡ的硅柱陣列結(jié)構(gòu)、多孔結(jié)構(gòu)［８７］．??

１．６硅納米孔柱陣列的特征及形貌??桂納米孔柱陣列（Ｓｉｌｉｃｏｎ?ｎａｎｏｐｏｒｏｕｓ?ｐｉｌｌａｒ?ａｒｒａｙ，?Ｓｉ－ＮＰＡ）［８７］，由大量的微米尺??寸的、準(zhǔn)相似的硅柱組成，這些硅柱和基底上還有納米級的小孔。從圖１．５可以??看出Ｓｉ－ＮＰＡ的陣列結(jié)構(gòu)，（ａ）為Ｓｉ－Ｎ....

本文編號：4047971