隨著微納米技術(shù)的快速發(fā)展,壓電式微操作技術(shù)也逐漸成為高性能精密加工裝備領(lǐng)域的重點(diǎn)研究內(nèi)容之一,被廣泛運(yùn)用到半導(dǎo)體技術(shù)、光學(xué)微處理、醫(yī)療技術(shù)科學(xué)、微型機(jī)電精密系統(tǒng)、航空航天精密設(shè)備制造等前沿技術(shù)領(lǐng)域。但是壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器作為多維微定位平臺的核心驅(qū)動(dòng)元件,本身所固有的遲滯非線性特性使平臺出現(xiàn)非線性問題,以及多維平臺輸出之間存在耦合作用的影響,嚴(yán)重影響了平臺的定位精度和跟蹤性能。針對壓電式多維微定位平臺存在的主要問題,本文以壓電式二維微定位平臺為研究對象,分別從平臺的遲滯非線性建模和運(yùn)動(dòng)跟蹤控制為研究內(nèi)容,主要內(nèi)容如下:為了描述壓電式二維微定位平臺的率相關(guān)遲滯非線性特性,提高其控制精度,提出了一種基于Hammerstein模型的建模方法�；贖ammerstein模型的壓電式微定位平臺是由靜態(tài)遲滯非線性部分和線性動(dòng)態(tài)部分串聯(lián)組成,其中采用能夠描述平臺靜態(tài)遲滯部分的Modified Prandtl-Ishlinskii（MPI）模型,和能夠描述線性動(dòng)態(tài)部分的（Autoregressive model with exogenous input,ARX）模型。搭建實(shí)驗(yàn)平臺進(jìn)行實(shí)驗(yàn),利用給出求取模型參... 

【文章來源】：江西理工大學(xué)江西省

【文章頁數(shù)】：83 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 研究背景及意義
    1.2 微定位平臺的研究現(xiàn)狀
        1.2.1 壓電式微定位平臺的研究現(xiàn)狀
        1.2.2 壓電式平臺的遲滯非線性研究現(xiàn)狀
    1.3 微定位平臺跟蹤控制的研究現(xiàn)狀
        1.3.1 開環(huán)控制
        1.3.2 閉環(huán)控制
        1.3.3 復(fù)合控制
    1.4 主要研究內(nèi)容
第二章 壓電式二維微定位平臺率相關(guān)遲滯建模
    2.1 引言
    2.2 微定位平臺的率相關(guān)遲滯模型
    2.3 建立平臺的Hammerstein模型
        2.3.1 MPI模型
        2.3.2 MPI模型的參數(shù)確定
        2.3.3 ARX模型
    2.4 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證
        2.4.1 實(shí)驗(yàn)配置
        2.4.2 平臺率遲滯模型
    2.5 結(jié)論
∞魯棒跟蹤控制">第三章 壓電式微定位平臺的H_∞魯棒跟蹤控制
    3.1 引言
∞魯棒跟蹤控制">    3.2 微定位平臺的H_∞魯棒跟蹤控制
    3.3 微定位平臺的非線性模型
        3.3.1 MPI模型及其逆模型
        3.3.2 建立ARX模型及其逆模型
∞魯棒控制器的設(shè)計(jì)">    3.4 H_∞魯棒控制器的設(shè)計(jì)
    3.5 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證
    3.6 結(jié)論
第四章 基于PI-BP模型的微定位平臺跟蹤控制
    4.1 引言
    4.2 基于PI網(wǎng)絡(luò)模型的RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)跟蹤控制
    4.3 PI-BP模型的建立
    4.4 RBF控制器的設(shè)計(jì)
    4.5 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證
    4.6 結(jié)論
第五章 基于PI模型的卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)遲滯建模
    5.1 引言
    5.2 微定位平臺的遲滯非線性現(xiàn)象
    5.3 建立基于PI模型的卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型
        5.3.1 率相關(guān)遲滯模型層
        5.3.2 卷積網(wǎng)絡(luò)層
        5.3.3 遲滯模型的參數(shù)訓(xùn)練
    5.4 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證
    5.5 遲滯建模及控制算法的比較分析
    5.6 結(jié)論
第六章 結(jié)論與展望
    6.1 主要工作與結(jié)論
    6.2 創(chuàng)新點(diǎn)
    6.3 研究展望
參考文獻(xiàn)
附錄
致謝
攻讀碩士學(xué)位期間的研究成果


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
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[2]壓電尺蠖式微驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)、控制與實(shí)驗(yàn)[D]. 楊展宏.江西理工大學(xué) 2018
[3]壓電陶瓷微定位平臺的遲滯非線性補(bǔ)償方法研究[D]. 劉瑩.吉林大學(xué) 2017
[4]二維壓電微動(dòng)平臺的研究[D]. 劉雪瑞.南京航空航天大學(xué) 2017
[5]壓電陶瓷微定位平臺的遲滯補(bǔ)償控制方法研究[D]. 吳春婷.吉林大學(xué) 2016
[6]全壓電驅(qū)動(dòng)的二維大行程納米定位平臺研究[D]. 朱軍輝.蘇州大學(xué) 2015
[7]基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的平面三自由度微動(dòng)平臺研究[D]. 張鴻陽.華南理工大學(xué) 2015



本文編號：2996279