光學(xué)微腔中光熱振蕩的傳感研究
【學(xué)位單位】:浙江工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位年份】:2019
【中圖分類】:TP212;TP183;O43
【部分圖文】:
的品質(zhì)因子高達(dá) 108數(shù)量級(jí)[27]。由于其制作工藝較為簡(jiǎn)單,因此迅速得到了推廣。自那時(shí)起,各種形式的 WGM 微腔被制作了出來。1990 年,王育竹等中國(guó)科學(xué)院的研究人員利用玻璃微球腔實(shí)現(xiàn)了 881nm 的激光[28]。1992 年,隨著微型納米加工技術(shù)的成熟,McCall 等人在 1992 年利用半導(dǎo)體芯片成功研制出了微盤腔[29],這一發(fā)明不僅降低了微腔尺寸,而且實(shí)現(xiàn)了低閾值激光器,從而促進(jìn)了集成光學(xué)領(lǐng)域內(nèi) WGM 光學(xué)微腔的發(fā)展。目前,對(duì) WGM 光學(xué)微腔的研究已擴(kuò)展到了多個(gè)領(lǐng)域,典型的有基于 WGM 光學(xué)微腔的高靈敏度傳感器[30-35]、低閾值激光器[36]、調(diào)制器[37]以及濾波器[38,39]等回音壁模式微腔按照形狀分類,有微盤腔,微球腔,環(huán)形腔,微芯圓環(huán)腔,圓柱腔等;按照制作材料分類,可以分為如 Si,SiO2等半導(dǎo)體材料,如 CaF2,MgF2等晶體材料,如 PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)等有機(jī)材料。不同材料的微腔在不同情況下都有其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。例如,當(dāng)使用光學(xué)微腔進(jìn)行非線性效應(yīng)的研究時(shí),必須使用具有非常小的光損的材料,例如氟化鈣,氟化鎂等材料制作微腔。在傳感和濾波器的應(yīng)用中,就必須使用到微環(huán)腔以及微盤腔。各種回音壁微腔的結(jié)構(gòu)圖如圖 1-1 所示。
當(dāng)光學(xué)微腔的材料、尺寸或外部環(huán)境改變時(shí),諧振此,可以通過微腔感測(cè)任何可以引起其尺寸和材料折射改變微腔尺寸這一方面來說,微腔可被用作壓力傳感器折射率這一方面來說,微腔可被用作氣體、液體傳感器微腔尺寸這兩方面來說,微腔可被用作溫度傳感器。學(xué)微腔傳感在探測(cè)微量物質(zhì)方面已經(jīng)取得了極大的研究生物分子的探測(cè)已達(dá)到非常靈敏的水平。目前,應(yīng)用于構(gòu)主要有微球諧振腔,微環(huán)諧振腔以及微盤諧振腔這三理論上擁有極高的品質(zhì)因子,常用來探測(cè)微納米粒子。 Vollmer 等人最先提出了基于回音壁微球腔的光學(xué)生化 1-2 所示。該團(tuán)隊(duì)利用該實(shí)驗(yàn)裝置,成功檢測(cè)到了牛血清傳感器可以應(yīng)用于生物分子探測(cè)領(lǐng)域。在之后幾年,該病毒單個(gè)分子的檢測(cè),推測(cè)出病毒分子半徑約為 47nm腔,進(jìn)一步提高了病毒分子探測(cè)極限,實(shí)現(xiàn)了對(duì)半徑為 測(cè)[43]。
于探測(cè) NaCl 濃度的微盤腔傳感器實(shí)驗(yàn)裝icrodisk cavity sensor experimental deviceconcentration[49]工藝簡(jiǎn)單而受到研究人員的廣泛關(guān)腔的光學(xué)生化傳感器[51]。2009 年,涉儀與光學(xué)微腔互相耦合的新型生物譜范圍和良好的傳感靈敏度。2013
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本文編號(hào):2812010
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