本文關鍵詞：半導體封裝測試設備自動化系統(tǒng)的設計與實現(xiàn)，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《天津大學》 2008年

半導體生產過程中的計算機集成制造

陳峰  

【摘要】： 半導體制造在世界范圍內都屬于高科技行業(yè),但在國內卻是屬于薄弱和緊缺的行業(yè)。在新的一個世紀里半導體產業(yè)已被定為中國的支柱產業(yè)。中芯國際(SMIC)以如此大的規(guī)模,且起步就以0.25微米作為制造工藝基礎的集成電路制造企業(yè)在國內也屬于首家。現(xiàn)在公司已在北京和武漢建成國內最先進的300毫米晶片生產線,并且采用當前世界最先進的0.09微米制造工藝。 在半導體制造業(yè)中計算機集成制造起著舉足輕重的作用。本課題就是以半導體制造這個大的環(huán)境為背景,介紹在半導體制造行業(yè)中如何使用計算機集成制造來實現(xiàn)設備自動化。 本論文首先介紹了CIM的發(fā)展和系統(tǒng)結構,接著介紹了IC制造工藝流程以及在IC半導體制造業(yè)中一名IT工程師所要具備的一些知識與能力。其次詳細論述了設備自動化的實現(xiàn)及Brooks公司的Equipment Automation的應用軟件STATIONworks,以及STATIONworks與MES層上的應用軟件FACTORYworks和設備機臺的關系,最后是在STATIONworks下針對ASYST公司的SMIF、SMART-TAG ST8400和KLA公司的測量機臺CDSEM編寫的設備自動化程序及相應的流程。

【關鍵詞】：
【學位授予單位】：天津大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2008
【分類號】：TN305
【目錄】：

中文摘要3-4

ABSTRACT4-8

第一章 前言8-13

1.1 什么是CIM8-9

1.1.1 CIM 的目標8-9

1.2 CIM 在國內外的發(fā)展情況9-10

1.2.1 CIM 的產生背景9

1.2.2 CIM 的國內外發(fā)展現(xiàn)狀9-10

1.3 研究發(fā)展CIM 的意義10

1.4 論文的主要工作10-11

1.5 論文的組織結構11-13

第二章 CIM 的系統(tǒng)結構13-17

2.1 CIM 的系統(tǒng)結構13-17

2.1.1 制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)13-14

2.1.2 自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)/物料控制系統(tǒng)(MCS)14

2.1.3 設備自動化程序(EAP)14-15

2.1.4 EAP 服務應用程序(EAP Cell Server)15-17

第三章 IC 制造工業(yè)流程17-22

3.1 IC 簡介17

3.2 半導體的生產流程17-22

3.2.1 晶片(Wafer)17

3.2.2 光學顯影(PHOTO)17-18

3.2.3 干式蝕刻技術(ETCH)18

3.2.4 化學氣象沉積技術(CVD)18

3.2.5 物理氣象沉積技術(PVD)18-19

3.2.6 解離金屬電漿(DIFFUSION)19

3.2.7 高溫制程(RTP)19

3.2.8 離子注入技術(IMPLANT)19-20

3.2.9 化學機械研磨(CMP)20

3.2.10 制程監(jiān)控20

3.2.11 光罩檢測20

3.2.12 切割20-21

3.2.13 封裝21-22

第四章 設備自動化及其實現(xiàn)22-30

4.1 設備自動化通信方式22

4.2 設備自動化通信協(xié)議22-30

4.2.1 SECS-I23-24

4.2.2 HSMS24-25

4.2.3 SECS-II25-28

4.2.4 GEM28

4.2.5 VFEI28-30

第五章 EAP 開發(fā)工具STATIONworks30-33

5.1 EAP 開發(fā)工具STATIONworks 簡介30-31

5.1.1 STATIONworks 系統(tǒng)組成30-31

5.1.2 如何利用STATIONworks 組件工作31

5.2 WinSECS 概述31-33

5.2.1 WinSECS Drivers31-32

5.2.2 WinSECS Services32-33

第六章 EAP 開發(fā)對象及環(huán)境模擬33-42

6.1 KLA CDSEM 簡介33-37

6.2 Cassette 與POD 簡介37

6.3 ASYST SMART-TAG 簡介37-38

6.4 ASYST SMIF 簡介38-39

6.5 用FASTsim 模擬CDSEM、SMIF 和SMART-TAG39-42

第七章 CDSEM 的Scenario 開發(fā)42-48

7.1 什么是Scenario？42-44

7.1.1 全自動化的Scenario42-43

7.1.2 使用EAP 跑貨的Scenario43-44

7.2 CDSEM 的狀態(tài)轉換分析44-48

7.2.1 建立連接時的狀態(tài)轉換44-45

7.2.2 在控制狀態(tài)時的狀態(tài)轉換45-48

第八章 CDSEM EAP 實現(xiàn)及測試48-56

8.1 CDSEM EAP 的實現(xiàn)48-49

8.1.1 CDSEM 的Scenario48

8.1.2 CDSEM 的EAP 程序開發(fā)48-49

8.2 EAP 程序測試49-56

8.2.1 FASTsim 模擬環(huán)境的建立49-50

8.2.2 各EVENT 的SECS/GEM 格式50-54

8.2.3 EAP 測試結果54-56

參考文獻56-58

致謝58

下載全文 更多同類文獻

CAJ全文下載

(如何獲取全文？ 歡迎：購買知網充值卡、在線充值、在線咨詢)

CAJViewer閱讀器支持CAJ、PDF文件格式

【引證文獻】

中國碩士學位論文全文數據庫 前2條

1 金異波;電介質刻蝕設備生產效能提升研究[D];復旦大學;2011年

2 俞生生;半導體封裝測試設備自動化系統(tǒng)的設計與實現(xiàn)[D];上海交通大學;2013年

【同被引文獻】

中國期刊全文數據庫 前4條

1 成立;李加元;李華樂;李嵐;王振宇;;VLSI芯片制備中的多層互連新技術[J];半導體技術;2006年11期

2 梁靜,錢省三;半導體制造中的設備效率(OEE)[J];電子工業(yè)專用設備;2004年07期

3 王怡靖;劉恩峰;黃均文;;無中間層雙大馬士革中FSG刻蝕技術研究[J];電子與封裝;2006年12期

4 王巍;吳志剛;;APC技術在刻蝕工藝過程控制中的研究進展[J];中國集成電路;2007年02期

中國博士學位論文全文數據庫 前2條

1 黃學文;制造執(zhí)行系統(tǒng)（MES）的研究和應用[D];大連理工大學;2003年

2 王萬雷;制造執(zhí)行系統(tǒng)（MES）若干關鍵技術研究[D];大連理工大學;2006年

中國碩士學位論文全文數據庫 前3條

1 焦海霞;計算機集成制造系統(tǒng)（CIMS）中設備自動化（EAP）設計與開發(fā)[D];西安電子科技大學;2004年

2 何小鋒;反應離子刻蝕設備的方案設計研究[D];國防科學技術大學;2004年

3 王戟;SECS/GEM在半導體生產計算機集成制造系統(tǒng)中的應用研究[D];浙江工業(yè)大學;2008年

【相似文獻】

中國期刊全文數據庫 前10條

1 蔡君質,張亞平;改進潔凈控制的措施——介紹SMIF新技術[J];半導體技術;1986年05期

2 孫玉全,史海波;CIMS實施過程中存在的問題及幾點經驗[J];信息與控制;1999年06期

3 李華,李燕,張潔;關于“人”的因素在CIMS實施中的探討[J];山東輕工業(yè)學院學報;1999年02期

4 程建瑞,王作義;半導體設備市場的新挑戰(zhàn)與新機遇[J];電子工業(yè)專用設備;2004年02期

5 楊劍;編者的話[J];電子與電腦;2005年Z1期

6 ;美國芯片強手——國家半導體公司投資中國[J];電子設計技術;1994年09期

7 Paul Davis SEMI;半導體產業(yè)2004年全面回升[J];電子工業(yè)專用設備;2004年01期

8 ;世界首家全球性半導體代工制造公司GLOBALFOUN[J];電子與電腦;2009年04期

9 張晉格,嚴洪森,王丹舟,張曉瑩;CIM環(huán)境中制造單元的研究[J];哈爾濱工業(yè)大學學報;1989年06期

10 楊建國,李蓓智,邵世煌,陳立睿,王鵬,徐茂山;CIM環(huán)境下的夾具設計自動化理論研究與實踐[J];微型電腦應用;1998年01期

中國重要會議論文全文數據庫 前10條

1 于冰;朱桂芹;潘明海;王小寧;;雷達目標模擬器自動化測試系統(tǒng)的研究與實現(xiàn)[A];2009通信理論與技術新發(fā)展——第十四屆全國青年通信學術會議論文集[C];2009年

2 葉文冠;江德光;;兩岸半導體產業(yè)展望[A];第12屆中國科協(xié)年會第31分會場海峽兩岸區(qū)域合作與協(xié)同發(fā)展論壇論文集[C];2010年

3 謝軍輝;;1噸礦車鑿井罐籠罐座的自動化改造[A];礦山建設工程技術新進展——2008全國礦山建設學術會議文集（下）[C];2008年

4 郭媛;;防雷審核及其雷評業(yè)務辦公自動化管理系統(tǒng)[A];第26屆中國氣象學會年會第三屆氣象綜合探測技術研討會分會場論文集[C];2009年

5 龔愛斐;張文靜;;基于虛擬化架構的軟件開發(fā)與測試環(huán)境自動化[A];第二十三屆中國（天津）2009IT、網絡、信息技術、電子、儀器儀表創(chuàng)新學術會議論文集[C];2009年

6 王志維;;編組站綜合集成自動化系統(tǒng)方案研究[A];2008年科技學術研討年提速安全與和諧鐵路論文集[C];2008年

7 劉曉平;練兵;賈永紅;;自卸汽車車載自動計量裝置的研制及應用[A];第十六屆六省礦山學術交流會論文集[C];2009年

8 楊彥國;陳建宇;張春杰;;自動化及網絡系統(tǒng)在首鋼京唐2250精軋中的應用[A];全國冶金自動化信息網2010年年會論文集[C];2010年

9 于清華;梁杰;張弛;張代兵;;動物自動訓練系統(tǒng)的實驗研究[A];2010中國儀器儀表學術、產業(yè)大會（論文集2）[C];2010年

10 姚杰;;未來的船舶避碰自動化系統(tǒng)[A];2001航海技術現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢論文集[C];2001年

中國重要報紙全文數據庫 前10條

1 寇新 編譯;[N];國際商報;2000年

2 張汝京;[N];中國電子報;2008年

3 駐舊金山總領館經商室 張海洋;[N];國際商報;2000年

4 王如晨;[N];第一財經日報;2007年

5 信息產業(yè)部副部長 茍仲文;[N];中國電子報;2003年

6 美國應用材料公司顧問 莫大康;[N];中國電子報;2006年

7 鄧華寧;[N];中國改革報;2006年

8 王如晨;[N];第一財經日報;2008年

9 王如晨;[N];第一財經日報;2008年

10 徐瀟;[N];商務時報;2008年

中國博士學位論文全文數據庫 前10條

1 盛碧琦;半導體/TFT-LCD制程統(tǒng)計建模與批間控制研究[D];江蘇大學;2012年

2 周云成;基于CIM的分布式配電網地理信息系統(tǒng)關鍵技術及集成應用研究[D];沈陽農業(yè)大學;2011年

3 李巖;碲鋅鎘晶片高效低損傷加工工藝的研究[D];大連理工大學;2010年

4 溫曉芳;實物期權在半導體產業(yè)投資決策中的應用[D];對外經濟貿易大學;2004年

5 孟永強;雙重加熱法合成碳化硅晶片的研究[D];中國地質大學（北京）;2008年

6 鐘巍;1、中國易瑞沙擴大用藥項目（EAP）治療晚期非小細胞肺癌中長期生存者的研究2、晚期非鱗癌非小細胞肺癌EGFR基因突變情況和其對吉非替尼療效的影響[D];北京協(xié)和醫(yī)學院;2011年

7 王曉旭;全自動真空激光大壩變形測量系統(tǒng)的研制[D];大連理工大學;2006年

8 林明春;陀螺經緯儀數字化及自動化關鍵技術的研究[D];天津大學;2007年

9 劉亞林;EAP（員工援助計劃）的成本、效用：理論研究與實證分析[D];首都經濟貿易大學;2008年

10 蔡虎;TEA-CO_2脈沖強激光對Hg_（0.8）Cd_（0.2）Te晶片的破壞研究[D];華中科技大學;2005年

中國碩士學位論文全文數據庫 前10條

1 陳峰;半導體生產過程中的計算機集成制造[D];天津大學;2008年

2 張鳳杰;螺紋磨床在線磨削自動補償系統(tǒng)——電氣系統(tǒng)設計與控制研究[D];南京理工大學;2004年

3 劉清波;基于CAN總線的劍桿織機監(jiān)控網絡系統(tǒng)的研究與開發(fā)[D];浙江大學;2004年

4 唐思章;分布式應用性能自動化測試技術研究及其工具開發(fā)[D];華東師范大學;2005年

5 葉宗達;基于GIS的城鎮(zhèn)宗地價格評估信息系統(tǒng)的研究[D];武漢大學;2004年

6 王森;加油站綜合信息管理系統(tǒng)[D];吉林大學;2006年

7 薛蓉;信號完整性仿真自動化關鍵技術研究及測試用例設計策略[D];西安電子科技大學;2006年

8 高放;鐵精礦粉裝車欠、超載問題的研究[D];大連理工大學;2006年

9 周曉寧;不同光照條件下的顏色命名算法研究及實現(xiàn)[D];北京交通大學;2009年

10 蘭剛;自動化故障模擬流程的開發(fā)[D];西安電子科技大學;2009年

  本文關鍵詞：半導體封裝測試設備自動化系統(tǒng)的設計與實現(xiàn)，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：172810