本文關(guān)鍵詞：寄生式時(shí)柵位移傳感器測(cè)量原理與結(jié)構(gòu)優(yōu)化　出處：《儀器儀表學(xué)報(bào)》2016年05期 　論文類(lèi)型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 寄生式時(shí)柵 誤差分析 結(jié)構(gòu)優(yōu)化 高精度測(cè)量

【摘要】：大型機(jī)床在實(shí)現(xiàn)全閉環(huán)數(shù)控過(guò)程中,現(xiàn)有測(cè)量方法存在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)無(wú)法同軸安裝角編碼器、安裝要求高、精度無(wú)法保證等方面問(wèn)題,本文提出一種適用于大型、中空回轉(zhuǎn)工作臺(tái)角度測(cè)量的寄生式時(shí)柵位移傳感器。傳感器通過(guò)在兩路空間正交的勵(lì)磁線(xiàn)圈中通入兩相時(shí)間正交的勵(lì)磁信號(hào),利用磁導(dǎo)調(diào)制方法得到相位差直接反映空間轉(zhuǎn)角的電行波信號(hào),從而實(shí)現(xiàn)精密角位移測(cè)量。建立由4個(gè)傳感單元組成的傳感器模型,采用電磁場(chǎng)有限元仿真軟件建模并仿真,對(duì)仿真結(jié)果進(jìn)行誤差分析和溯源;根據(jù)分析結(jié)果對(duì)傳感器進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化并仿真驗(yàn)證;根據(jù)優(yōu)化模型制作傳感器實(shí)物,搭建試驗(yàn)臺(tái)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在整周范圍內(nèi)傳感器測(cè)量精度達(dá)到±2″,實(shí)現(xiàn)了高精度測(cè)量,為寄生式時(shí)柵的進(jìn)一步開(kāi)發(fā)應(yīng)用提供了理論依據(jù)。
[Abstract]:In the implementation of large machine closed loop NC process, the existing measuring method of rotary table to coaxial installation angle encoder, installation requirements, accuracy and other aspects of the problem, this paper presented a suitable large, parasitic hollow rotary table angle measurement of time grating displacement sensor. The sensor through the excitation coil in the two excitation signal the pass into the two-phase orthogonal space time orthogonal modulation method, using magnetic phase difference directly reflects the electrical traveling wave signal space angle, so as to realize precision angular displacement measurement sensor. A model consisting of 4 sensor unit, the electromagnetic finite element simulation software modeling and simulation, error analysis and traceability of the simulation results according to the analysis results of the sensor; structure optimization and simulation; optimization model according to the experiment of sensor, The experimental results show that the accuracy of the sensor reaches to + 2 "in the whole range, which achieves high accuracy measurement. It provides a theoretical basis for further development and application of parasitic time grating.

【作者單位】： 重慶大學(xué)機(jī)械傳動(dòng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;重慶理工大學(xué)機(jī)械檢測(cè)技術(shù)與裝備教育部工程研究中心;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51405049,51505052) 重慶市科技研發(fā)基地能力提升計(jì)劃(cstc2014pt-sy40002) 重慶“兩江學(xué)者”項(xiàng)目資助
【分類(lèi)號(hào)】：TP212
【正文快照】： 1引言隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,各行各業(yè)對(duì)機(jī)械產(chǎn)品的加工精度要求越來(lái)越高,也催生著加工機(jī)床向精密、超精密方向發(fā)展[1-2]。影響機(jī)床實(shí)現(xiàn)精密加工的因素很多,其中全閉環(huán)檢測(cè)是提高機(jī)床加工精度的重要方面。現(xiàn)今應(yīng)用較多的全閉環(huán)檢測(cè)方法是在末端傳動(dòng)部件上同軸安裝高精度編碼

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10 齊勇;湯紫峰;;光纖位移傳感器工程化應(yīng)用[A];中國(guó)工程物理研究院科技年報(bào)（2001）[C];2001年

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