本文關(guān)鍵詞：一種新型差分平面鏡干涉儀

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【摘要】：針對傳統(tǒng)差分平面鏡干涉儀結(jié)構(gòu)復(fù)雜、需要光學(xué)部件多從而導(dǎo)致系統(tǒng)調(diào)試?yán)щy、測量信噪比低等缺點,提出了一種結(jié)構(gòu)簡單需要光學(xué)部件少的新型差分平面鏡干涉儀系統(tǒng)。此干涉儀能夠產(chǎn)生對稱的空間四光路,對環(huán)境因素(濕度、溫度及大氣壓)的變化有很好的抗干擾能力,測量分辨率高。如果附加其他光學(xué)元件,可輕易實現(xiàn)對偏擺角、微滾轉(zhuǎn)角、直線度等幾何量的測量。靜態(tài)狀態(tài)下,其位移漂移小于1nm,而同等條件下傳統(tǒng)邁克耳孫干涉儀漂移大于10nm。基于此系統(tǒng)的精密角度測量干涉儀,使用電子細分為2π/516的相位計,可以得到0.024μrad的測量分辨率。
【作者單位】： 上海理工大學(xué)光電信息與計算機工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 測量 外差干涉儀 差分平面鏡干涉儀 光程死區(qū)
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51075280) 上海市研究生創(chuàng)新基金(JWCXSL1302)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 1引言在軍工、航天、數(shù)控機床等高科技領(lǐng)域,精密基準(zhǔn)計量和幾何量精密測量具有非常重要的作用,特別是直線度的測量技術(shù),越來越引起人們的重視[1-3]。激光外差干涉儀能夠以簡單的相位比較取得較高的測量分辨率,由于其具有結(jié)構(gòu)簡單,抗干擾能力強等優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于納米精度以及亞

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