發(fā)布時(shí)間：2023-04-22 12:29

　　波長(zhǎng)調(diào)諧移相干涉技術(shù)是通過(guò)改變光波長(zhǎng)來(lái)計(jì)算相位的。為了減少可調(diào)諧激光器在變波長(zhǎng)進(jìn)行移相時(shí)光功率的隨機(jī)變化對(duì)相位計(jì)算產(chǎn)生的誤差,本文提出了一套光強(qiáng)實(shí)時(shí)反饋控制系統(tǒng)和同步校準(zhǔn)方案。首先分析了光強(qiáng)在某一范圍內(nèi)的隨機(jī)變化產(chǎn)生測(cè)量誤差,并選用合適的光電檢測(cè)設(shè)備搭建了一套光強(qiáng)控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)能夠?qū)⒐庑盘?hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào),并通過(guò)PID來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)光強(qiáng)的控制。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,本系統(tǒng)能夠?qū)⒐鈴?qiáng)的變化范圍控制在±0.002mW以內(nèi),其響應(yīng)速度達(dá)到600kHz,已遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)干涉儀CCD的取圖速度。最后,對(duì)口徑為50mm的光學(xué)元件進(jìn)行表面形貌檢測(cè),加入本控制系統(tǒng)后,面形精度的測(cè)量指標(biāo)PV值和RMS值分別提高了1.53×10^-2λ和2.43×10^-3λ,表明本系統(tǒng)在高精度的光學(xué)元件檢測(cè)領(lǐng)域具有重要的實(shí)用價(jià)值。

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引言
2 光強(qiáng)變化產(chǎn)生的誤差及仿真分析
    2.1 光強(qiáng)變化引起的相位誤差
    2.2 誤差仿真及分析
3 系統(tǒng)設(shè)計(jì)及分析
4 實(shí)驗(yàn)結(jié)果
5 結(jié)論



本文編號(hào)：3797642