微針作為一種新型經(jīng)皮給藥器具,在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中有廣泛的應(yīng)用需求。結(jié)合UV-LIGA加工技術(shù)、濕法刻蝕技術(shù)、干法刻蝕技術(shù)和表面微加工技術(shù)等傳統(tǒng)微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）加工技術(shù),以及最近出現(xiàn)的3D打印技術(shù)、激光加工技術(shù)、拉延光刻技術(shù)和熱壓法等微針的特種加工技術(shù),分析了國(guó)內(nèi)外的微針制備的研究現(xiàn)狀,簡(jiǎn)述了不同類(lèi)型的微針在經(jīng)皮給藥應(yīng)用中的優(yōu)缺點(diǎn),指出了微針在經(jīng)皮給藥中存在的技術(shù)瓶頸和解決方案,最后提出了微針在藥物治療系統(tǒng)、醫(yī)學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、智能藥物的輸送系統(tǒng)和傳感器系統(tǒng)等方面的應(yīng)用。 

【文章來(lái)源】：微納電子技術(shù). 2020,57(11)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：14 頁(yè)

【部分圖文】：

UV-LIGA背面曝光工藝制備微針的示意圖[19]

然而，微針自定義高度的設(shè)計(jì)還有待提高。H.Takahashi等人[21-22]在2016年改變變換紫外線(xiàn)的傾斜角度和曝光劑量，調(diào)節(jié)了微針的高度和輪廓；又在2017年利用光的折射原理，通過(guò)改變掩膜版上方棱鏡的底角從而控制微針的高度。利用此方法可以制備出四棱錐形微針模具，然而傾斜曝光法還可以制備出不同形狀的微針模具。在2019年，T.Tomono[23]利用掩膜版傾斜式旋轉(zhuǎn)曝光的方法制備出圓錐形微針母模具，如圖3 (a）所示，掩膜版旋轉(zhuǎn)角ψ的變化范圍為0°～360°，基板的傾斜角θ沿著z軸往x軸方向順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，掩膜版的圖形和位置分別如圖3 (b）所示。由此可以看出，為了解決微針高成本和兼容性差的問(wèn)題，目前在光刻技術(shù)中使用最多的是UV-LIGA曝光法和掩膜版背面曝光法。對(duì)于這兩種微針的制備方法，可以通過(guò)改變紫外線(xiàn)的曝光劑量、角度以及掩膜版的厚度、傾斜角等參數(shù)，從而調(diào)節(jié)微針的高度和輪廓，使微針在經(jīng)皮給藥中得到廣泛應(yīng)用。

利用濕法刻蝕制備的微針不僅在醫(yī)學(xué)監(jiān)測(cè)和經(jīng)皮給藥方面發(fā)揮重要作用，而且還可以通過(guò)刺入人體皮膚的真皮層來(lái)提取和收集液體用于微創(chuàng)診斷。2016年，F(xiàn).W.Lee等人[30]提出了基于聚對(duì)二甲苯的一次性微針陣列的制備方法，通過(guò)模仿蚊蟲(chóng)鼻腔的振動(dòng)提取血液。圖6為采血裝置制備流程示意圖[30]，該裝置采用嵌套式聚對(duì)二甲苯通道制作工藝，由10∶1高深寬比的聚對(duì)二甲苯微針陣列和腔室結(jié)構(gòu)組成。制備的微針不僅可以用于采集血液，而且可以對(duì)組織液（ISF）進(jìn)行微創(chuàng)采樣，2020年，J.X.Zhu等人[31]利用明膠甲基丙烯�；℅elMA）微針貼片對(duì)ISF進(jìn)行了微創(chuàng)采樣，通過(guò)改變GelMA預(yù)聚物的濃度和交聯(lián)時(shí)間，定量地檢測(cè)ISF中的葡萄糖和萬(wàn)古霉素。2.2 干法刻蝕


本文編號(hào)：3216966