【摘要】：在非真空環(huán)境中進(jìn)行微納壓印,在模板和聚合物基底之間會形成氣泡,降低微納結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)印質(zhì)量,針對該問題,研制了一種微納熱壓印真空裝置。該裝置包括:用于調(diào)整壓頭板位姿的球狀自適應(yīng)調(diào)整結(jié)構(gòu),以半導(dǎo)體熱電致冷器為加熱和致冷器件的溫度控制裝置,真空罩,密封系統(tǒng)。計算了熱壓印過程需要的加熱和制冷功率,進(jìn)行了升降溫和保溫性能實(shí)驗(yàn)、真空性能實(shí)驗(yàn)和應(yīng)用實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證此裝置整體性能良好,適用于微納熱壓印。
[Abstract]:Micronano imprinting in non-vacuum environment will form bubbles between the template and polymer substrate and reduce the transfer quality of micro / nano structure. In order to solve this problem a micro / nano hot embossing vacuum device has been developed. The device comprises a spherical adaptive adjusting structure for adjusting the position and orientation of the pressure head plate, a temperature control device with the semiconductor thermoelectric cooler as the heating and cooling device, a vacuum cover and a sealing system. The heating and cooling power needed in the process of hot stamping was calculated, and the performance experiments of lifting and holding temperature, vacuum performance and application were carried out. The experimental results show that the whole performance of the device is good and suitable for micro and nano hot stamping.
【作者單位】： 大連理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(91023017;51105060;51375076) 國家863計劃資助項(xiàng)目(2012AA040406)
【分類號】：TH70

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前1條

1 王鈞,王曉東,劉沖;塑料微流控芯片熱壓及鍵合設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計研究[J];機(jī)械設(shè)計與制造;2004年04期

【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 吳進(jìn)喜;王慶昭;盧曉東;;超高分子量聚乙烯低溫容器的制備與性能研究[J];工程塑料應(yīng)用;2008年12期

2 劉成毅;;吸收式冷水機(jī)組現(xiàn)場檢漏存在的問題[J];四川建筑科學(xué)研究;2010年05期

3 張遠(yuǎn)斌;;基于材料出氣率的復(fù)合材料杜瓦設(shè)計[J];玻璃鋼/復(fù)合材料;2010年01期

4 霍志乾;;煤油氣相干燥設(shè)備內(nèi)置蒸發(fā)器泄漏判定及修復(fù)[J];變壓器;2010年02期

5 陳占杰;;真空裝置中的常見污染和清潔處理[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2006年06期

6 原洛渭;高利強(qiáng);;雙段式加熱鍺單晶生長設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2008年02期

7 葉漢民;;電子束焊機(jī)用高壓電源的應(yīng)用及發(fā)展趨勢[J];電源技術(shù)應(yīng)用;2001年10期

8 屈金祥;陸燕;;低溫真空腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計及傳熱分析[J];低溫工程;2006年01期

9 彭楠;熊聯(lián)友;劉立強(qiáng);張亮;;低溫真空泵輻射擋板流導(dǎo)幾率的計算[J];低溫工程;2006年06期

10 王紅雨;黃宏;陳光奇;王曉娟;;85m~3液氫鐵路槽車的檢漏和抽空[J];低溫工程;2007年06期

相關(guān)會議論文 前10條

1 那威;鄒平華;宋艷;葉錫豪;;真空保溫高溫蒸汽熱力管道熱工性能實(shí)驗(yàn)研究[A];07’中國西安能源動力科技創(chuàng)新研討會及展示會論文集[C];2007年

2 李軍;王紹虎;胡純棟;劉智民;劉勝;謝俊;DNB課題組;;HT-7診斷中性束裝置漂移管道的設(shè)計[A];2006全國荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會議論文集[C];2006年

3 張繼紅;鄒峰;陳強(qiáng);操春燕;高連山;沈國輝;;新型氫頻標(biāo)真空組件設(shè)計[A];2009全國時間頻率學(xué)術(shù)會議論文集[C];2009年

4 丁懷況;丁先庚;姜春;滕健;施錦;陳登科;李煒;章學(xué)華;嚴(yán)善倉;;160W@20K氦氣循環(huán)低溫系統(tǒng)[A];第八屆全國低溫工程大會暨中國航天低溫專業(yè)信息網(wǎng)2007年度學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2007年

5 湯建成;熊聯(lián)友;陸文海;彭楠;張亮;;6k×6kCCD天文望遠(yuǎn)鏡液氮恒溫器的研制[A];第八屆全國低溫工程大會暨中國航天低溫專業(yè)信息網(wǎng)2007年度學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2007年

6 鄭先章;鄭愪;;生鮮產(chǎn)品不凍結(jié)保鮮貯運(yùn)不可替代的技術(shù)—減壓貯藏技術(shù)[A];第六屆全國食品冷藏鏈大會論文集[C];2008年

7 葉海峰;丁懷況;章學(xué)華;歐陽崢嶸;馮漢升;;100立方空模設(shè)備中液氦抽氣板的設(shè)計與實(shí)驗(yàn)分析[A];第九屆全國低溫工程大會論文集[C];2009年

8 傅劍;施錦;丁懷況;姜春;藤健;;氦氣純化設(shè)備在系留飛艇中的應(yīng)用[A];第九屆全國低溫工程大會論文集[C];2009年

9 薛大同;;氦質(zhì)譜檢漏儀背壓檢漏標(biāo)準(zhǔn)剖析及非標(biāo)漏率計算程序[A];中國真空學(xué)會第六屆全國會員大會暨學(xué)術(shù)會議論文集[C];2004年

10 馮煜東;王藝;王志民;速小梅;趙慨;;多靶連續(xù)卷繞鍍膜機(jī)濺射室布?xì)饩鶆蛐匝芯縖A];全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會論文集[C];2006年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前10條

1 張波;真空室內(nèi)壁鍍TiZrV吸氣劑薄膜的工藝及薄膜相關(guān)性能的研究[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

2 沈揚(yáng);新型X射線探測設(shè)備的探索性研究[D];復(fù)旦大學(xué);2011年

3 孫屹博;面向聚合物微流控器件的超聲波精密聯(lián)接技術(shù)研究[D];大連理工大學(xué);2011年

4 關(guān)榮鋒;MEMS器件設(shè)計、封裝工藝及應(yīng)用研究[D];華中科技大學(xué);2005年

5 朱學(xué)林;電化學(xué)檢測的PMMA集成毛細(xì)管電泳芯片制作工藝研究[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2006年

6 賀永;聚合物微熱壓過程理論及其裝備技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2007年

7 楊樂;脈沖等離子體推力器工作過程理論和實(shí)驗(yàn)研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2007年

8 王開松;多工況下ITER中心螺管饋線系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計與動力分析[D];合肥工業(yè)大學(xué);2008年

9 張銀堂;表面等離子體激元共振及相關(guān)技術(shù)用于蛋白質(zhì)相互作用和DNA檢測[D];中南大學(xué);2007年

10 那威;真空復(fù)合保溫管道的傳熱特性及地下管道的熱力分析[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 唐順杰;大功率LED封裝共晶爐及燈具傳熱過程仿真分析[D];華中農(nóng)業(yè)大學(xué);2010年

2 王鵬程;低溫儲罐充液后夾層壓力變化規(guī)律研究[D];蘭州理工大學(xué);2010年

3 傅麗瑩;ITER縱場磁體超導(dǎo)饋線系統(tǒng)線圈終端盒的設(shè)計與分析[D];安徽理工大學(xué);2010年

4 張建超;氣相色譜—行時間質(zhì)譜聯(lián)用技術(shù)的研究[D];天津大學(xué);2010年

5 王冠軍;NSRL計量線高次諧波抑制和抑制鏡對的設(shè)計[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

6 張佐;太陽電池陣驅(qū)動電機(jī)橡膠密封件失效機(jī)理及試驗(yàn)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2011年

7 馬林;氣密檢測系統(tǒng)溫度影響研究[D];華中科技大學(xué);2011年

8 朱�？�;金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備多腔體氣體輸運(yùn)技術(shù)的研究[D];華中科技大學(xué);2011年

9 唐武;回旋加速器CYCHU-10真空系統(tǒng)研究[D];華中科技大學(xué);2010年

10 蔣揚(yáng)峰;“Sydney”餐巾紙折疊機(jī)的研發(fā)[D];浙江大學(xué);2012年

【二級參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前7條

1 朱云源,管建峰;專用壓力機(jī)的設(shè)計[J];常熟高專學(xué)報;1999年02期

2 劉春林;壓力機(jī)精度對沖壓件的影響[J];鍛壓技術(shù);1999年05期

3 王亮,池蘭鳳,欒文秋;壓力機(jī)的泄漏及其控制[J];鍛壓機(jī)械;1999年06期

4 湯揚(yáng)華,周兆英,葉雄英,馮焱穎,金亞;毛細(xì)管電泳芯片的制造[J];微細(xì)加工技術(shù);2001年01期

5 方肇倫,方群;微流控芯片發(fā)展與展望[J];現(xiàn)代科學(xué)儀器;2001年04期

6 殷學(xué)鋒,方群,凌云揚(yáng);微流控分析芯片的加工技術(shù)[J];現(xiàn)代科學(xué)儀器;2001年04期

7 劉鵬,邢婉麗,程京;生物芯片技術(shù)——21世紀(jì)革命性的技術(shù)[J];學(xué)會;2000年11期

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 路長厚,曹建海,李學(xué)勇,李建美;金屬標(biāo)牌中壓印凹凸字符質(zhì)量的在線檢測研究[J];機(jī)械工程學(xué)報;2005年02期

2 李平,朱濤,薛健,周光智;注射器式瓊脂壓印采樣器的制作與應(yīng)用[J];前衛(wèi)醫(yī)藥雜志;1999年03期

3 許大農(nóng),仇雪健;外圓表面壓印工藝[J];機(jī)械工人.冷加工;2004年01期

4 張鴻海,胡曉峰,范細(xì)秋,劉勝;納米壓印光刻技術(shù)的研究[J];華中科技大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2004年12期

5 胡利娟;壓印彩色砼[J];中國建材科技;1994年05期

6 康啟來;凹凸壓印工藝技術(shù)探討[J];湖南包裝;2002年01期

7 李錦棠;鎖飾蓋壓印模[J];機(jī)械制造;2002年07期

8 陶夢權(quán);連續(xù)模中的材料延伸問題[J];模具工業(yè);1990年03期

9 段玉崗,丁玉成,盧秉恒,王立永;集成電路芯片(IC)壓印光固離子刻蝕法研究[J];機(jī)床與液壓;2004年12期

10 劉紅忠,丁玉成,盧秉恒,金濤;壓印工作臺的納米級自找準(zhǔn)定位研究[J];西安交通大學(xué)學(xué)報;2003年04期

相關(guān)會議論文 前10條

1 張鴻海;胡曉峰;范細(xì)秋;賀德建;劉勝;;高效率低成本納米級圖形復(fù)制技術(shù)[A];人才、創(chuàng)新與老工業(yè)基地的振興——2004年中國機(jī)械工程學(xué)會年會論文集[C];2004年

2 丁玉成;劉紅忠;盧秉恒;李滌塵;;下一代光刻技術(shù)——壓印光刻[A];人才、創(chuàng)新與老工業(yè)基地的振興——2004年中國機(jī)械工程學(xué)會年會論文集[C];2004年

3 段玉崗;丁玉成;盧秉恒;;集成電路(IC)壓印制造用光固化刻蝕膠的研究[A];2005年中國科協(xié)學(xué)術(shù)年會論文集第8分會場光固化與數(shù)字成像技術(shù)及其應(yīng)用論文集[C];2005年

4 楊興旺;;地圖印刷露白的原因及其解決方法[A];廣東省測繪學(xué)會第八次會員代表大會學(xué)術(shù)交流論文集[C];2005年

5 陳為;路長厚;邱化冬;;基于表面曲率特征的銘牌壓印字符的分割[A];中國自動化學(xué)會控制理論專業(yè)委員會C卷[C];2011年

6 徐鍵;王公平;董建峰;徐清波;;壓印溶膠-凝膠材料制備陣列微結(jié)構(gòu)[A];中國硅酸鹽學(xué)會特種玻璃分會第三屆全國特種玻璃會議論文集[C];2007年

7 李鐵生;;談精制幣[A];《內(nèi)蒙古金融研究》錢幣文集（第四輯）[C];2003年

8 王琦;楊靜暉;李杰;陳楓;傅強(qiáng);;軟壓印硅橡膠微納米結(jié)構(gòu)及表面自組裝[A];2009年全國高分子學(xué)術(shù)論文報告會論文摘要集（上冊）[C];2009年

9 馮杰;高長有;王勃;沈家驄;;反應(yīng)性微接觸印刷中軟印章表面浸涂生物大分子溶液的新方法[A];中國生物醫(yī)學(xué)工程學(xué)會第六次會員代表大會暨學(xué)術(shù)會議論文摘要匯編[C];2004年

10 劉壯;朱琳;;基于有限元法膠版印刷過程中印刷壓力的研究[A];第十一屆全國包裝工程學(xué)術(shù)會議論文集（二）[C];2007年

相關(guān)重要報紙文章 前10條

1 記者 常麗君;美用“滾軸壓印”工藝制作柔性顯示屏[N];科技日報;2011年

2 文月;三星用納米壓印技術(shù)制造閃存[N];電子資訊時報;2008年

3 翁崇喜;環(huán)保防偽煙包印刷新寵——激光圖案壓印轉(zhuǎn)移生產(chǎn)線[N];中國包裝報;2005年

4 張宏斌;小心，，地雷！[N];中國包裝報;2001年

5 ;數(shù)控多壓印頭組合式燙印平臺[N];中國包裝報;2006年

6 徐中軍 薛志成;識別專用發(fā)票有五招[N];江蘇經(jīng)濟(jì)報;2001年

7 陳戰(zhàn)是 梁伊任;現(xiàn)代園林材料的應(yīng)用與發(fā)展[N];中國花卉報;2005年

8 劉耕田;膠印中紙張起皺的原因和排除方法[N];中國包裝報;2008年

9 蔡秉旋;香港將發(fā)行猴年郵票[N];中國郵政報;2003年

10 康啟來;影響平版凸版印刷壓力的主要因素[N];中國包裝報;2003年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前10條

1 葉向東;基于聚合物模板的變種壓印工藝研究[D];西安交通大學(xué);2010年

2 鐘文;紀(jì)念幣多次壓印成形模擬關(guān)鍵技術(shù)與閃光線缺陷研究[D];華中科技大學(xué);2013年

3 鐘文;紀(jì)念幣多次壓印成形模擬關(guān)鍵技術(shù)與閃光線缺陷研究[D];華中科技大學(xué);2013年

4 盧迎習(xí);層狀組裝聚合物薄膜的室溫壓印[D];吉林大學(xué);2007年

5 王磊;納米光柵的壓印工藝及納米光柵的應(yīng)用創(chuàng)新研究[D];華中科技大學(xué);2012年

6 陳為;基于變化方向光源的壓印立體字符分割方法的研究[D];山東大學(xué);2013年

7 賀永;聚合物微熱壓過程理論及其裝備技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2007年

8 孫志強(qiáng);基于自組裝膠體晶體構(gòu)筑有序微結(jié)構(gòu)[D];吉林大學(xué);2009年

9 李國平;基于莫爾技術(shù)的標(biāo)牌凹凸字符圖像獲取與識別研究[D];山東大學(xué);2007年

10 周嫻瑋;原子力顯微鏡成像與納米操作控制的研究[D];南開大學(xué);2009年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 鐘文;壓印成形模擬前置處理系統(tǒng)的設(shè)計與開發(fā)[D];華中科技大學(xué);2009年

2 馮模盛;壓印連接接頭疲勞性能研究[D];昆明理工大學(xué);2011年

3 鄭俊超;壓印接頭力學(xué)性能研究及微觀組織形態(tài)分析[D];昆明理工大學(xué);2013年

4 張文斌;單搭壓印連接接頭的機(jī)械性能研究[D];昆明理工大學(xué);2011年

5 閆旭;聚合物微結(jié)構(gòu)的熱輔助超聲波壓印工藝研究[D];大連理工大學(xué);2013年

6 張瓊;基于紫外光刻的滾動壓印模具的研制[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2014年

7 邢飛;基于軟印制工藝有機(jī)聚合物電光調(diào)制器的研究[D];電子科技大學(xué);2013年

8 王勇;激光圖案壓印轉(zhuǎn)移設(shè)備的控制系統(tǒng)設(shè)計[D];華南理工大學(xué);2011年

9 許龍芳;聚合物微流控芯片壓印成型模具關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2010年

10 張海峰;全自動聚合物微流控芯片壓印機(jī)的研究與設(shè)計[D];浙江大學(xué);2005年

本文編號：2169549