本文選題：高階諧振 + 輕敲模式　； 參考：《低溫與超導(dǎo)》2014年05期

【摘要】：動態(tài)原子力顯微鏡微懸臂為無限自由度系統(tǒng),具有多個諧振模態(tài)的振動特性。微懸臂的工作振動頻率是影響動態(tài)原子力顯微鏡系統(tǒng)的測量特性的關(guān)鍵參數(shù)之一,為了提高微懸臂的諧振頻率,結(jié)合懸臂的高階諧振特性,研制了基于高階諧振懸臂的輕敲式動態(tài)原子力顯微鏡,可實現(xiàn)對微觀表面的測量,并且明顯改善了動態(tài)原子力顯微鏡系統(tǒng)的測量靈敏度、測量速度等測量特性。
[Abstract]:The dynamic atomic force microscope (DAFM) microcantilever is an infinite degree of freedom system with multiple resonant modes. The working vibration frequency of the micro cantilever is one of the key parameters affecting the measurement characteristics of the dynamic atomic force microscope system. In order to improve the resonant frequency of the micro cantilever, the high order resonance characteristic of the cantilever is combined. A light knock dynamic atomic force microscope based on high-order resonant cantilever is developed, which can realize the measurement of micro surface, and obviously improve the measuring sensitivity and measuring speed of dynamic atomic force microscope system.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院;安徽建筑大學電子與信息工程學院;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(50975075)資助
【分類號】：TH742

【參考文獻】

相關(guān)期刊論文 前1條

1 黃強先;王祥;;基于DDS的輕敲式原子力顯微鏡探針驅(qū)動方法研究[J];工具技術(shù);2010年05期

【共引文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 鄭宇;王月明;吳芳;毛杰;;底部框架—抗震墻結(jié)構(gòu)在平穩(wěn)隨機干擾下的響應(yīng)[J];四川建筑科學研究;2008年01期

2 郝婷s，

本文編號：1914172