本文選題：微光學平臺 + 硅基��； 參考：《微納電子技術》2016年09期

【摘要】：微型的、可重復裝配的、硅基的微光學實驗平臺和操作平臺對于實現(xiàn)光學分析儀器的微型化具有重要的研究意義。設計制作了一種硅基的微光學平臺,它包含有微光學基板和微光學夾持片。首先采用有限元分析軟件Comsol對微光學夾持片的關鍵結(jié)構(gòu)即彈片進行了應力仿真,確定了彈片在被拉伸過程中斷裂時的最大位移,而后在此基礎上設計了一種微光學基板和幾種微光學夾持片。實驗中采用微電子的工藝,通過配合使用電感耦合等離子體(ICP)干法刻蝕和各向異性濕法腐蝕工藝制備了微光學基板和微光學夾持片的樣品。最后將二者裝配在一起,從而建立起一個硅基的微光學平臺。并且,夾持片可以在基板上實現(xiàn)滑動和重復裝配。
[Abstract]:Micro, reproducible, silicon based microoptics experimental platform and operating platform have important significance to realize the miniaturization of optical analysis instruments. A silicon based micro optical platform is designed and fabricated. It includes microoptical substrate and microoptical gripper. First, a finite element analysis software Comsol is used for microoptical gripping. The key structure, that is, the stress simulation of the flakes, determines the maximum displacement of the fragment when it is stretched during the tensile process. On this basis, a micro optical substrate and several micro optical gripps are designed. In the experiment, microelectronic technology is used in conjunction with the use of inductively coupled plasma (ICP) to etch and anisotropic wet. The samples of microoptical substrates and microoptical gripper were prepared by the method of normal corrosion. Finally, the two groups were assembled to establish a silicon based microlight platform. And the clip could be slipped and repeated on the substrate.
【作者單位】： 中國科學院半導體研究所半導體集成技術工程研究中心;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(61275145)
【分類號】：TH74

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本文編號：1913597