本文關(guān)鍵詞：聚酰亞胺隔熱懸掛結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制作　出處：《傳感器與微系統(tǒng)》2014年05期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 聚酰亞胺 隔熱懸掛結(jié)構(gòu) MEMS技術(shù) 低功耗 絕熱封裝

【摘要】：加熱器在原子鐘、氣體傳感器、生物傳感器等器件中有著廣泛的應(yīng)用,降低加熱功耗對(duì)于這些器件的實(shí)用化具有重要意義。設(shè)計(jì)并制作了一種集成了加熱器和溫度傳感器的聚酰亞胺隔熱懸掛結(jié)構(gòu),用于承載待加熱的芯片,并利用集成制作在聚酰亞胺膜上的2組Pt線圈分別對(duì)芯片進(jìn)行加熱和溫度檢測(cè)。實(shí)驗(yàn)證明:聚酰亞胺隔熱懸掛結(jié)構(gòu)由熱傳導(dǎo)引起的功耗僅為沒懸掛結(jié)構(gòu)時(shí)的0.95%,大大降低了由熱傳導(dǎo)引起的功耗,即便在沒有真空封裝的情況下,在芯片工作在100℃時(shí),功耗也可降低到36.7%;同時(shí)該結(jié)構(gòu)也具有良好的機(jī)械性能,承載體積為14 mm×7 mm×1 mm的硅基芯片時(shí),安全系數(shù)可達(dá)到56.58,具有很好的應(yīng)用前景。
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：中國科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程重要方向性項(xiàng)目(KGCX2—YW—143)
【分類號(hào)】：TH811
【正文快照】： 0引言近年來,隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了一些新型的MEMS器件,它們需要在一定溫度下才能工作,比如:微型CPT原子鐘的物理系統(tǒng)[1]要工作在70℃或以上,以保證足夠的原子數(shù)密度,因此,需要有加熱器與溫度傳感器對(duì)溫度進(jìn)行精確控制;一些半導(dǎo)體式的氣體傳感器,需要內(nèi)置加熱器加熱到一

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 劉亦敏;聶金泉;趙玉龍;彭年才;;一種微腔型PCR集成芯片的設(shè)計(jì)及其熱分析[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2011年08期

2 杜曉晴,常本康;微測(cè)輻射熱計(jì)的熱隔離結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[J];激光與紅外;2002年04期

3 施芹;丁榮崢;蘇巖;裘安萍;;硅微陀螺儀器件級(jí)真空封裝[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2009年02期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 ;MEMS sensor technology[J];Engineering Sciences;2012年05期

2 劉宇;路永樂;曾燎燎;杜曉鵬;黎蕾蕾;潘英俊;;固態(tài)振梁角速率傳感器的動(dòng)力學(xué)特性與誤差分析[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2011年04期

3 崔九征;孫博;馮強(qiáng);;強(qiáng)沖擊條件下MEMS封裝可靠性有限元分析[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2011年24期

4 趙爾近;汪煒;張偉;張俊清;;N型重?fù)诫s硅微細(xì)電火花加工試驗(yàn)研究[J];航空精密制造技術(shù);2013年03期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 楊海波;多孔硅基MEMS非制冷紅外探測(cè)器微結(jié)構(gòu)與工藝研究[D];天津大學(xué);2010年

2 呂宇強(qiáng);氧化釩薄膜材料及非制冷紅外探測(cè)器微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的研究[D];天津大學(xué);2007年

3 王成剛;基于真空電阻焊的MEMS器件級(jí)封裝研究[D];華中科技大學(xué);2013年

4 王成剛;基于真空電阻焊的MEMS器件級(jí)封裝研究[D];華中科技大學(xué);2013年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 楊海波;面向MEMS非制冷紅外探測(cè)器的多孔硅絕熱層及力學(xué)性能研究[D];天津大學(xué);2007年

2 馮毅;VO_2薄膜的原位生長及其光學(xué)性能的研究[D];華中科技大學(xué);2007年

3 陳晨;基于軌跡球測(cè)量技術(shù)的研磨球體運(yùn)動(dòng)分析[D];浙江工業(yè)大學(xué);2012年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 孫瑞花;鄭宏宇;吝海峰;;MEMS封裝中的封帽工藝技術(shù)[J];微納電子技術(shù);2007年05期

2 徐敬波;趙玉龍;蔣莊德;張大成;楊芳;孫劍;;基于SOI的集成硅微傳感器芯片的制作[J];半導(dǎo)體學(xué)報(bào);2007年02期

3 閆衛(wèi)平,朱劍波,馬靈芝,杜立群;金屬薄膜加熱器的研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2004年04期

4 丁國杰;趙湛;彭年才;李紅東;于留波;;基于C8051F020的多通道手持式PCR擴(kuò)增儀的設(shè)計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2010年02期

5 趙燕青;崔大付;;集成型PCR芯片的研究[J];傳感器與微系統(tǒng);2006年08期

6 王瑋,李志信,過增元;微腔型PCR芯片的多體系集總熱容法分析[J];工程熱物理學(xué)報(bào);2004年02期

7 顧文韻,皮德富,周士源;非致冷測(cè)輻射熱計(jì)的研制方案[J];紅外技術(shù);2000年05期

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 鄧延佳;金屬膜正溫度系數(shù)熱敏材料的研究[D];華中科技大學(xué);2008年

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張思杰,彭承琳,鄭小林,劉艷,皮喜田,侯文生;基于MEMS技術(shù)的胃腸道無線內(nèi)窺鏡的研究[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2005年07期

2 張思杰,彭承琳,鄭小林,劉艷,皮喜田,侯文生;基于MEMS技術(shù)的胃腸道無線內(nèi)窺鏡的研究進(jìn)展[J];醫(yī)療衛(wèi)生裝備;2004年05期

3 云振新;RF/微波無線系統(tǒng)中的MEMS技術(shù)[J];微納電子技術(shù);2002年02期

4 郭偉光;MEMS技術(shù)的現(xiàn)狀與應(yīng)用[J];合肥學(xué)院學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2005年01期

5 李天翱;曹征;隋曉紅;蔣霞;任秋實(shí);柴新禹;;視網(wǎng)膜假體微電極的研究進(jìn)展[J];中國醫(yī)療器械雜志;2010年05期

6 鐘曉暉;周樹光;翟玉玲;;MEMS技術(shù)在微型熱泵中的應(yīng)用[J];河北理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2010年03期

7 方震華;黃慧鋒;;微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)在軍用設(shè)備中的應(yīng)用現(xiàn)狀[J];電子機(jī)械工程;2010年04期

8 ;微米/納米加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室[J];微納電子技術(shù);2002年01期

9 汪超,余洪斌,陳海清;基于MEMS技術(shù)的新型變形反射鏡[J];光電工程;2005年04期

10 余丹銘,梁利華,許楊劍;微電子機(jī)械技術(shù)的研究和發(fā)展趨勢(shì)[J];機(jī)械工程師;2004年07期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 傅新;;MEMS技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀及微流控系統(tǒng)的研究進(jìn)展[A];中國機(jī)械工程學(xué)會(huì)流體傳動(dòng)與控制分會(huì)——第三屆全國流體傳動(dòng)及控制學(xué)術(shù)會(huì)議大會(huì)交流論文集[C];2004年

2 徐加山;郭航;;微型超聲手術(shù)刀的振動(dòng)檢測(cè)技術(shù)[A];Proceedings of the 2010 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications[C];2010年

3 杭觀榮;王振龍;趙萬生;;基于MEMS技術(shù)的微型動(dòng)力系統(tǒng)[A];全國生產(chǎn)工程第九屆年會(huì)暨第四屆青年科技工作者學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（二）[C];2004年

4 胡莉;李茜;;微加速度計(jì)[A];中國自動(dòng)化學(xué)會(huì)、中國儀器儀表學(xué)會(huì)2004年西南三省一市自動(dòng)化與儀器儀表學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2004年

5 ;MICONEX2002儀器儀表與自動(dòng)化技術(shù)發(fā)展學(xué)術(shù)大會(huì)分會(huì)場(chǎng)主題、會(huì)場(chǎng)與時(shí)間表[A];MICONEX2002儀器儀表與自動(dòng)化技術(shù)發(fā)展學(xué)術(shù)大會(huì)會(huì)議指南[C];2002年

中國重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 龔葉;傳感器國家工程研究中心通過驗(yàn)收[N];中國化工報(bào);2003年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 劉利娜;微型生化分析儀用溫度控制系統(tǒng)的研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2006年

2 饒伏波;基于MEMS技術(shù)的微自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的建模及關(guān)鍵技術(shù)研究[D];西北工業(yè)大學(xué);2005年

3 吳鴻賓;基于MEMS技術(shù)的彈道修正微陀螺集成設(shè)計(jì)[D];西北工業(yè)大學(xué);2005年

4 喬大勇;基于MEMS技術(shù)的自適應(yīng)光學(xué)微變形鏡的設(shè)計(jì)與分析[D];西北工業(yè)大學(xué);2003年

5 秦寧;SU-8微針執(zhí)行器的研究[D];中國科學(xué)院研究生院（電子學(xué)研究所）;2004年

6 高強(qiáng)業(yè);硅微加速度計(jì)的特性及應(yīng)用研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2003年

，

本文編號(hào)：1307892