本文關(guān)鍵詞：壓阻式高量程微加速度計的設(shè)計

  更多相關(guān)文章： 高過載 高量程 微加速度計 壓阻效應(yīng) 仿真

【摘要】：為了滿足過載環(huán)境對高量程加速度計的需求,設(shè)計了一種高量程微加速度計。通過對敏感結(jié)構(gòu)建立數(shù)學(xué)模型及Ansys靜力學(xué)仿真,確定了該加速度計的總體設(shè)計,最后對加工完成的加速度計進行了測試。結(jié)果表明,該加速度計的靈敏度為193.3μV/g,在受到10 000 g以上的加速度作用時仍能正常工作,能夠滿足實際需要。
【作者單位】： 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點實驗室;洛陽理工學(xué)院工程訓(xùn)練中心;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51075374)資助
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 0引言微型慣性器件在航天航空、國防工業(yè)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,是目前各國研究的重點之一。高量程加速度計作為一類重要的慣性器件,也受到了研究人員越來越多的重視,它常用于彈藥發(fā)射及侵徹硬目標(biāo)等過程中過載信號的測量。目前國內(nèi)外常用的高量程加速度計主要有壓電式和壓阻式

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 熊繼軍;毛海央;張文棟;徐棟;郭濤;;復(fù)合量程微加速度計的研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2006年05期

2 劉鳳麗;郝永平;;高g值壓阻式微加速度計設(shè)計(英文)[J];光學(xué)精密工程;2009年06期

3 孟美玉;劉俊;石云波;;三軸壓阻微加速度計的結(jié)構(gòu)力學(xué)分析[J];中國慣性技術(shù)學(xué)報;2007年03期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 夏烈芳;郭濤;向婷;;復(fù)合量程加速度計抗過載技術(shù)的研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2010年03期

2 張建新;張合;;加速度傳感器信號增益的軟件實時控制[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2011年05期

3 張建新;張合;;壓電加速度傳感器輸出信號可變增益控制[J];測試技術(shù)學(xué)報;2011年04期

4 侯婷婷;薛晨陽;劉國文;賈曉娟;譚振新;張斌珍;劉俊;;一種基于微結(jié)構(gòu)的GaAs HEMT的壓阻系數(shù)[J];固體電子學(xué)研究與進展;2010年03期

5 袁明權(quán);孫遠程;張茜梅;武蕊;屈明山;熊艷麗;;基于圓片級陽極鍵合封裝的高g_n值壓阻式微加速度計[J];傳感器與微系統(tǒng);2013年05期

6 閆明明;郭濤;龔珊;;基于復(fù)合量程加速度計的無線傳感器網(wǎng)絡(luò)設(shè)計[J];傳感器與微系統(tǒng);2013年07期

7 閆明明;鮑愛達;郭濤;;復(fù)合量程微加速度計封裝的設(shè)計仿真與測試[J];科學(xué)技術(shù)與工程;2013年34期

8 王玲;李慧琴;李洲;趙漢雨;;振動加速度傳感器的自激振蕩消除方法研究[J];中國測試;2009年05期

9 龔俊亮;葛文奇;李晗;;采用線加速度計的轉(zhuǎn)速測量新方法[J];儀表技術(shù)與傳感器;2010年10期

10 向婷;郭濤;林大為;劉鵬飛;;復(fù)合量程微加速度計封裝熱應(yīng)力的研究[J];儀表技術(shù)與傳感器;2011年02期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 張建新;侵徹引信炸點控制理論及試驗研究[D];南京理工大學(xué);2012年

2 于春戰(zhàn);基于Stewart平臺的六維加速度傳感器研究[D];北京郵電大學(xué);2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 賈曉娟;基于GaAs-PHEMT結(jié)構(gòu)的微加速度計特性測試[D];中北大學(xué);2010年

2 侯婷婷;基于GaAs HEMT嵌入式懸臂梁—質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)的力敏特性研究[D];中北大學(xué);2010年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 席占穩(wěn);壓阻式硅微型加速度傳感器的研制[J];傳感器技術(shù);2003年11期

2 車錄鋒;盧云;徐志農(nóng);;鉸鏈?zhǔn)礁邲_擊微加速度傳感器封裝的有限元模擬[J];光學(xué)精密工程;2007年02期

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 李浩;小量程懸臂梁微機械壓阻式加速度傳感器研究[D];中國科學(xué)院上海冶金研究所;2001年

2 王長虹;陣列式硅壓力加速度傳感器研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2003年

3 王濤;三軸硅微加速度計的集成設(shè)計與實現(xiàn)[D];西北工業(yè)大學(xué);2006年

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 鄭英彬,蘇偉,何曉平;叉指式微加速度計的靜電-機械耦合場分析[J];傳感器技術(shù);2002年05期

2 徐佩,劉俊,張文棟;用于硅微加速度計檢測的差分頻率電路設(shè)計[J];航空計算技術(shù);2004年03期

3 張斌珍;李科杰;張文棟;薛晨陽;王建;;基于共振隧穿壓阻薄膜的GaAs基微加速度計研究[J];中北大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2006年05期

4 熊繼軍;范波;郭虎崗;高建飛;;微加速計固有頻率的推導(dǎo)及驗證(英文)[J];半導(dǎo)體學(xué)報;2008年09期

5 譚曉昀;周賢中;姜一鳴;陳偉平;;微加速度計中Sigma Delta調(diào)制與脈沖編碼調(diào)制的對比分析(英文)[J];光學(xué)精密工程;2009年06期

6 馮宇翔,董景新,趙長德,吳天準(zhǔn);利用單片機實現(xiàn)微加速度計性能自動測試[J];微納電子技術(shù);2005年07期

7 凌靈;陳文元;李凱;姜曉波;;微機械電容式加速度計的結(jié)構(gòu)及檢測技術(shù)研究[J];儀表技術(shù)與傳感器;2008年08期

8 肖鵬,王冰;基于MEMS微加速度計的無視覺傳感器防搖控制系統(tǒng)研究[J];機電工程;2005年01期

9 曾唯;林麒;;ADXL320加速度計性能參數(shù)的標(biāo)定實驗[J];中國儀器儀表;2006年09期

10 鮑愛達;徐曉輝;張英祥;范波;郭濤;;微加速度計固有頻率的推導(dǎo)及驗證[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2008年06期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 胡莉;李茜;;微加速度計[A];中國自動化學(xué)會、中國儀器儀表學(xué)會2004年西南三省一市自動化與儀器儀表學(xué)術(shù)年會論文集[C];2004年

2 李圣怡;劉宗林;吳學(xué)忠;;微加速度計的發(fā)展[A];全國生產(chǎn)工程第九屆年會暨第四屆青年科技工作者學(xué)術(shù)會議論文集（二）[C];2004年

3 萬蔡辛;李丹東;張承亮;馮強;鄭旭東;;電容式微加速度計的整流誤差與減震淺析[A];微機電慣性技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢——慣性技術(shù)發(fā)展動態(tài)發(fā)展方向研討會文集[C];2011年

4 楊慧;郭航;;壓電式微加速度計的研究[A];第二屆全國壓電和聲波理論及器件技術(shù)研討會摘要集[C];2006年

5 何曉平;張德;文貴印;;“叉指”結(jié)構(gòu)微加速度計的系統(tǒng)設(shè)計[A];中國工程物理研究院科技年報（2002）[C];2002年

6 何曉平;;“叉指”式靜電伺服微加速度計敏感芯片的設(shè)計[A];中國工程物理研究院科技年報（2005）[C];2005年

7 何曉平;;抗7400g沖擊的靜電伺服微加速度計[A];中國工程物理研究院科技年報（2000）[C];2000年

8 黃書琴;郝永平;王世軍;;電容微加速度計結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化設(shè)計[A];中國傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇暨東北MEMS研發(fā)聯(lián)合體研討會論文集[C];2004年

9 何高法;唐一科;何曉平;劉世明;;一種新型諧振式微加速度計設(shè)計和分析[A];第十屆全國敏感元件與傳感器學(xué)術(shù)會議論文集[C];2007年

10 劉保林;馬喜宏;孟召麗;;微加速度計在溫度、濕度、振動三綜合環(huán)境下的失效機理分析[A];第三屆全國虛擬儀器大會論文集[C];2008年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前9條

1 周吳;微加速度計的機電耦合特性及關(guān)鍵技術(shù)研究[D];西南交通大學(xué);2010年

2 呂炳均;高階SIGMA DELTA微加速度計接口ASIC芯片研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

3 戴強;基于SOI的電容式微加速度計器件物理模型與實驗研究[D];電子科技大學(xué);2010年

4 劉云濤;電容式SIGMA-DELTA微加速度計接口ASIC芯片研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

5 蔣玉齊;高量程MEMS加速度計封裝研究[D];中國科學(xué)院研究生院（上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所）;2004年

6 胡宇群;微型飛行器中的若干動力學(xué)問題研究[D];南京航空航天大學(xué);2002年

7 劉宗林;電容式微慣性器件設(shè)計理論與方法研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2004年

8 劉曉e，

本文編號：1216441