本文關(guān)鍵詞：利用飛秒激光制備微光柵微透鏡的研究

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【摘要】：納米技術(shù)的發(fā)展使微光學(xué)器件在通信、存儲、成像、傳感中得到了廣泛應(yīng)用。其中,微光柵、微透鏡陣列等微光學(xué)元件正在成為人們研究的熱點(diǎn)。為此,如何制備性能更好的微透鏡陣列及光柵成為目前人們的迫切需求。飛秒激光是一種超短脈沖激光,其峰值功率非常高,且作用區(qū)域小,是一種十分優(yōu)良的微加工手段可以實(shí)現(xiàn)非熱熔性加工,而且加工成形后的表面非常光滑,所以已成為加工微光柵和微透鏡陣列的方法之一。本文利用飛秒激光器和微位移平臺搭建的激光直寫系統(tǒng),在聚碳酸酯表面加工了微光柵。研究了聚碳酸酯表面加工線寬與激光能量之間的關(guān)系。并且研究了不同顯微物鏡的數(shù)值孔徑對加工線寬的影響。此外,搭建了雙光束干涉加工系統(tǒng)。利用朗奇光柵對入射光分束,通過對曝光時間的控制,在聚碳酸酯材料表面加工了多組光柵結(jié)構(gòu)。研究了激光脈沖對光柵形貌的影響。用上述直寫系統(tǒng)在聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯表面燒蝕了微孔結(jié)構(gòu),對比了兩種材料上的燒蝕效果。研究了激光參量對微孔直徑的影響。最后,選取PC材料,制備了大量的微凹透鏡陣列,并測試了微凹透鏡陣列的成像性能。
【學(xué)位授予單位】：黑龍江大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TH74;TN249

【參考文獻(xiàn)】

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1 徐世珍,賈天卿,孫海軼,李曉溪,程兆谷,馮東海,李成斌,徐至展;飛秒激光在石英玻璃中誘導(dǎo)微爆炸的理論研究[J];物理學(xué)報;2005年09期

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本文編號：1156540