本文關(guān)鍵詞：一種3自由度精密微定位平臺的設(shè)計(jì)與分析

  更多相關(guān)文章： 微定位平臺 柔順機(jī)構(gòu) 自由度 有限元分析

【摘要】：高精度的微定位平臺是精密定位技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一。采用柔順機(jī)構(gòu)作為微定位機(jī)構(gòu)及壓電陶瓷作為驅(qū)動器,設(shè)計(jì)了一種3自由度精密微定位平臺。首先,對設(shè)計(jì)的微定位平臺進(jìn)行了理論分析,得出了該平臺的理論輸入與輸出關(guān)系,同時確定了其行程范圍。然后,采用ANSYS有限元方法對該平臺在給定輸入情況下的變形進(jìn)行了分析,并對其輸出位移進(jìn)行了仿真。分析結(jié)果表明,設(shè)計(jì)的3自由度微定位平臺理論分析結(jié)果和仿真分析結(jié)果基本吻合。最后,根據(jù)分析結(jié)果,制作了微定位平臺樣機(jī)。這種高精度的微定位平臺在精密定位領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。
【作者單位】： 佛山科學(xué)技術(shù)學(xué)院機(jī)械與電氣工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51105077) 廣東省教育廳科技創(chuàng)新項(xiàng)目(2012KJCX0103)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 近年來,隨著微/納制造技術(shù)的迅速發(fā)展和廣泛應(yīng)用,越來越多的學(xué)者對微/納制造裝備核心關(guān)鍵技術(shù)之一的精密定位技術(shù)進(jìn)行了大量研究。微定位平臺是實(shí)現(xiàn)精密定位的工作平臺,一般由微定位機(jī)構(gòu)、驅(qū)動器和為控制系統(tǒng)提供位置反饋的位移傳感器組成。柔順機(jī)構(gòu)是以柔性鉸鏈代替?zhèn)鹘y(tǒng)機(jī)構(gòu)

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