本文關(guān)鍵詞：鏡面粗糙度對遠(yuǎn)紫外望遠(yuǎn)鏡能量集中度的影響

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【摘要】：遠(yuǎn)紫外空間成像設(shè)備鏡面粗糙度嚴(yán)重影響成像質(zhì)量,成像質(zhì)量可用能量集中度來表征。擬用余弦相位調(diào)制光柵分析方法定性說明鏡面粗糙度RMS對能量集中度的影響;通過傅里葉光學(xué)線性系統(tǒng)理論建立了普遍的面?zhèn)鬟f函數(shù),得到了角度能量和能量集中度的分布情況,并以設(shè)計上達(dá)到衍射極限的1216沘(1沘=0.1nm)遠(yuǎn)紫外望遠(yuǎn)鏡為對象,在鏡面粗糙度RMS值遠(yuǎn)小于波長的假定情況下,得到了能量集中度與主次鏡面粗糙度RMS和面自相關(guān)長度的關(guān)系,并預(yù)測了鏡面粗糙度引起的分辨率誤差在0.171 5″時對鏡面加工的要求,即主次鏡鏡面RMS小于31沘,面自相關(guān)寬度大于1波長,這對于實際的加工具有指導(dǎo)意義。
【作者單位】： 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 鏡面粗糙度 位相調(diào)制光柵 能量集中度 分辨率誤差
【基金】：國家自然科學(xué)基金(41176158)
【分類號】：TH743
【正文快照】： 0引言像質(zhì)衰減的3個基本機(jī)理是衍射效應(yīng)、幾何像差和散射效應(yīng)。隨著波長的減小,衍射效應(yīng)逐漸減弱,幾何像差大致不變,而散射效應(yīng)開始變得較大。散射光的來源除了因為鏡面的不規(guī)則外還有光子之間的交互作用、自由電子的散射、表面等離子體的激發(fā)等,而這些散射光比較少,可以忽略,

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

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本文編號：1136138